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J-GLOBAL ID：201602278631714178   整理番号：16A1345537

ロールtoロール方式による有機触媒CVD,WVTR<0.000001を目指して

著者 (2件)： 中山弘 (大阪市大) ,  和倉慎治 (アサヒ電子研究所)
資料名： コンバーテック  (Convertech)
巻： 44  号： 12  ページ： 97-99  発行年： 2016年12月15日 
JST資料番号： Y0873A  ISSN： 0911-2316  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 水蒸気透過速度(WVTR)=10^-6(g/m²/日)を達成できると考えて以来20年が経とうとしている。ガスバリヤー膜,金属/無機被覆バリヤー膜,高バリヤー膜と3代に亘って10^-3(g/m²/日)までで約20年が経過した。この高バリヤー膜完成へ向けた取り組みについて述べた。1)はじめに,2)プラスチック上にバリア膜を作成する(バリア被膜(両面,SiCN,SiOCN,SiCNF)/樹脂膜(PET,PEN,PL他)),3)ロールツーロールバリア法(バリア膜の作製(バッチ式とロールツーロール方式),ロールツーロールでのトップデータを目指して(有機触媒CVDの作製)),4)提案とまとめ。

シソーラス用語： *生産方式 ,  *ガスバリヤ性 ,  水蒸気 ,  プラスチックフィルム ,  *被覆 ,  シアン化物 ,  ケイ素化合物 ,  ポリエチレンテレフタレート ,  ポリエチレンナフタレート ,  ポリ乳酸 ,  *有機金属化合物 ,  *化学蒸着 ,  技術 ,  両面
準シソーラス用語： *ロール・ツー・ロール方式 ,  *水蒸気バリヤ性 ,  薄膜化技術 ,  *複合被膜

分類 (4件)： 生産形態  (KB03020E) ,  膜分離  (XD02120Z) ,  有機けい素化合物  (CF08030C) ,  気相めっき  (WC08022K)

引用文献 (3件)：

• 中山 弘:有機CAT-CVD,フィルムベースエレクトロニクスの最新要素技術(普及版/監修:中山 弘、中山正昭、小川倉一),シーエムシー出版,p176(2013)
• 中山 弘、畑 強之、伊藤道弘:有機シリコン化合物を用いたSiCN薄膜の有機Cat-CVD,有機触媒CVD(Cat-CVD)の新展開(普及版/監修:中山 弘),シーエムシー出版,p210(2013)
• 大谷新太郎:MOCON社製ガスバリア試験装置によるガス透過度の最新評価方法と速度精度向上について,気体分離膜・透過膜・バリア膜の最新技術(監修:永井一清),シーエムシー出版,p101(2007)

タイトルに関連する用語 (3件)： ロール ,  有機触媒 ,  CVD