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J-GLOBAL ID：201602279419704535   整理番号：16A0819718

走査型イオンコンダクタンス顕微鏡法のための高周波プローブの多目的最適設計【Powered by NICT】

Multi-objective Optimal Design of High Frequency Probe for Scanning Ion Conductance Microscopy

著者 (5件)： Guo Renfei (School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University) ,  Zhuang Jian (School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University) ,  Ma Li (School of Science, Xi’an Jiaotong University) ,  Li Fei (School of Science, Xi’an Jiaotong University) ,  Yu Dehong (School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University)
資料名： Zhongguo Jixie Gongcheng Xuebao  (Zhongguo Jixie Gongcheng Xuebao)
巻： 29  号： 1  ページ： 195-203  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2639A  ISSN： 1000-9345  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査型イオンコンダクタンス顕微鏡(SICM)は,ナノスケール分解能をもつ新しい非破壊表面トポグラフィー特性評価装置である。しかし,大部分の既存の変調電流ベースSICM系におけるプローブの低調節頻度はシステム雑音を増加させ,急峻な高さ変化とイメージング試料表面が困難であった。急峻な高さ変化による画像表面の能力を有することSICM可能にするために,変調電流ベースホッピングモードで用いることのできる新しいプローブを設計した。設計はZ方向の位置調整とプローブ周波数調整を分離するために異なる旅行二圧電セラミックに依存している。プローブの共振周波数をさらに改善するために,試料表面と探針の各成分の主要寸法は,多目的最適化法と有限要素解析に基づいて最適化した。最適設計は,約10kHzの共振周波数を持っている。設計したプローブの合理性を検証するために,微細構造化格子試料を自家製変調電流ベースSICMシステムを用いて画像化した。実験結果は設計した高周波探触子はスパイク雑音の平均数のスパイク雑音を26%低減できることを示した。提案した設計は,比較的低い調節周波数を持つ通常のプローブを用いて通常既存SICMシステムの画像品質を改善するための実現可能な解を提供する。Data from the ScienceChina, LCAS.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 分解能 ,  圧電セラミック ,  画質 ,  最適化 ,  *HF【周波数】 ,  共振周波数 ,  *プローブ ,  周波数制御 ,  キャラクタリゼーション ,  探触子 ,  *最適設計
準シソーラス用語： 画像化 ,  有限要素解析 ,  ナノスケール ,  *走査型イオン伝導顕微鏡 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 走査型イオンコンダクタンス顕微鏡(SICM) ,  多目的最適化 ,  高周波プローブ ,  有限要素解析 ,  画像品質

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  生体の顕微鏡観察法  (EA03050C)

タイトルに関連する用語 (3件)： 走査型イオンコンダクタンス顕微鏡 ,  高周波プローブ ,  最適設計