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J-GLOBAL ID：201602280205631373   整理番号：16A0939104

ウエハの重力誘起曲げを除去するための,サポートとウエハの位置決定に基づく3点支持法

Three-point-support method based on position determination of supports and wafers to eliminate gravity-induced deflection of wafers

著者 (5件)： Liu Haijun (Key Laboratory for Precision and Non-traditional Machining of Ministry of Education, Dalian University of Technology, Dalian, PR China) ,  Zhu Xianglong (Key Laboratory for Precision and Non-traditional Machining of Ministry of Education, Dalian University of Technology, Dalian, PR China) ,  Kang Renke (Key Laboratory for Precision and Non-traditional Machining of Ministry of Education, Dalian University of Technology, Dalian, PR China) ,  Dong Zhigang (Key Laboratory for Precision and Non-traditional Machining of Ministry of Education, Dalian University of Technology, Dalian, PR China) ,  Chen Xiuyi (Key Laboratory for Precision and Non-traditional Machining of Ministry of Education, Dalian University of Technology, Dalian, PR China)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 46  ページ： 339-348  発行年： 2016年10月 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大型で,薄いウエハの平坦度測定は,重力によって大きく影響される。反転法は,しばしば誤差打消しのために使用される。しかし,サポートとウエハの位置は,反転軸に関して,完全対称であることが必要とされる。本研究では,サポートとウエハの位置決めに基づく,3点支持法が提案された。支持球とウエハが任意位置に設定され,それらの位置が,測定によって得られ,また重力誘起曲げ(GID)を計算するために開発され,FEMモデルに入力された。サポートとウエハの位置を取得するための方法が実施された。サポートの位置測定正確さが,支持球のプロファイルに対する,円形あてはめにより,大幅に改善された。ウエハ表面積とエッジプロファイルの間の交差点として,ウエハエッジ点が正確に得られた。同一装置上の,1個の変位センサだけを用いて,ウエハ厚さの測定法が提示された。シミュレーション結果は,実験結果により検証された。ウエハのセンタリング装置とサポートの位置決め要求は,もはや必要とされない。サポートとウエハの位置の効果は,直径300mm,厚さ397μm,147μmを超えるGIDに対して,1μm未満に減少した。本手法は,また他の大型の薄板の正確な平坦度測定に使用できる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *支持物 ,  半導体レーザ ,  *ウエハ【IC】 ,  位置決め ,  システム ,  パネル ,  効果 ,  計測 ,  不確実性 ,  輪郭 ,  重力効果 ,  位置決めシステム
準シソーラス用語： レーザダイオード ,  位置決定システム

著者キーワード (4件)： Three-point-support method ,  Position determination ,  Gravity-induced deflection ,  Large and thin panels

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： ウエハ ,  重力 ,  誘起 ,  曲げ ,  位置決定 ,  支持