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J-GLOBAL ID：201602280464572920   整理番号：16A0776439

微粉末射出成形によるマイクロチャネルアレイ

MICRO POWDER INJECTION MOLDED MICROCHANNEL ARRAY

著者 (2件)： YAO M. (Nanjing Res. Inst. Electronics Technol., Nanjing, CHN) ,  WANG C. R. (Nanjing Res. Inst. Electronics Technol., Nanjing, CHN)
資料名： IET Conference Publications  (IET Conference Publications)
巻： 676  ページ： 491-494  発行年： 2015年 
JST資料番号： B0665A  ISSN： 0537-9989  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 近年,MST及びMEMSの開発に伴い,口金穴やジェットタービン刃よる冷却孔,穴アレイインクジェットプリンタ,マイクロチャネルヒートシンクと言ったマイクロチャネルを有するマイクロ部品用途への需要が高まっている。マイクロチャンネルアレイは,マイクロ放電,マイクロ超音波,またはマイクロレーザ加工技術によって製造することができるが,コスト,加工精度及び表面品質の問題が,常に用途を制限してきた。本論文では,高品質で高精度のマイクロチャンネルアレイを有するマイクロ部品を得るため,マイクロ粉末射出成形に因る粉末製造技術を検討した。焼結温度の相対密度に対する影響を,機械的特性および結晶粒サイズを用いて調査した。結果は,マイクロチャネルアレイを有するマイクロ部品の最適な性能が,1500°Cの焼結温度で得られることを示した。好適な丸みと明らかな欠陥の無いマイクロチャネルを正常に作製した。マイクロチャネルの線収縮は,低次元偏差でほぼ均一であった。寸法誤差は1.5%以下に制御できた。

シソーラス用語： *射出成形 ,  *微粉体 ,  *アレイ ,  MEMS ,  部品 ,  加熱温度 ,  相対密度
準シソーラス用語： *マイクロチャネルアレイ ,  マイクロ部品 ,  焼結温度 ,  *微粉末

分類 (2件)： その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 粉末射出成形 ,  マイクロチャネルアレイ