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J-GLOBAL ID：201602280617899163   整理番号：16A0834719

平面MEMS技術にZnO-CuOナノフレークを組み込んだ革新的ガスセンサ

An innovative gas sensor incorporating ZnO-CuO nanoflakes in planar MEMS technology

著者 (2件)： Behera Bhagaban (Centre for Applied Research in Electronics, Indian Institute of Technology Delhi, Hauz Khas, New Delhi 110016, India) ,  Chandra Sudhir (Centre for Applied Research in Electronics, Indian Institute of Technology Delhi, Hauz Khas, New Delhi 110016, India)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 229  ページ： 414-424  発行年： 2016年06月28日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,ZnO-CuOナノフレークを組み込んだ単純で低コストなMEMSベースのガスセンサを示した。黄銅膜を,無線周波数(RF)ダイオードスパッタリングと加熱酸化プロセスにより酸化Si基板上に蒸着させ,ZnO-CuOナノフレークを合成した。酸化された試料を,SEM,XRD,XPS,ラマン分光法により解析した。完全なセンサ製造のため,マイクロヒーターを内蔵した平面MEMS技術を採用した。この技術は,熱絶縁を提供するSi基板にスパッタ蒸着,埋め込まれたSiO₂プラットホームを使用し,Niマイクロヒータの電力消費を低減し,ヒータ領域からの熱拡散を防止した。マイクロヒーター性能をシミュレートし,実験的に検証した。このセンサーを,最適な検出性能のために,様々な有毒ガスや揮発性有機化合物(VOC)の動作温度および濃度範囲にわたって試験した。このセンシング結果は,このセンサが他のガスよりもアセトン蒸気に対して最も高い応答性を示すことを明らかにした。また,それは再現可能で安定した性能を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  ナノ粒子 ,  *酸化銅 ,  *ナノ構造 ,  フレーク ,  *ガスセンサ ,  *MEMS ,  加熱器 ,  揮発性有機化合物 ,  温度依存性 ,  酸化亜鉛ナノ粒子 ,  酸化銅ナノ粒子 ,  マイクロヒータ ,  脂肪族ケトン
準シソーラス用語： *ナノフレーク

著者キーワード (3件)： ZnO-CuO nanoflakes ,  MEMS ,  Gas sensor

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  分析機器  (CC02020S)

物質索引 (1件)： アセトン

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  ZnO ,  CuO ,  ナノフレーク ,  ガスセンサ