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J-GLOBAL ID：201602281284189971   整理番号：16A0894252

カルマンフィルタを用いた音叉センサの空気密度補正

著者 (3件)： 岡本光平 (新光電子(株)) ,  岡本光平 (東京理科大学) ,  相川直幸 (東京理科大学)
資料名： 電気学会論文誌 C  (IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems)
巻： 136  号： 4  ページ： 542-547(J-STAGE)  発行年： 2016年 
JST資料番号： S0810A  ISSN： 0385-4221  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： カルマンフィルタを用いて音叉センサの温度と空気密度による影響を補正する方法を提案した。音叉センサは,力センサとして優れた特徴を持ち,電子天秤用センサとしても使用されているが,気圧や温度による空気密度の変化の影響を受ける。従って,音叉センサを用いた高精度な力センサを実現するには,これらの環境要因に対応する補正技術が必要となる。気圧や温度を測定するMEMSセンサを用いた補正が試みられているが,センサ出力のノイズの影響に対し従来は平均化処理で対応していた。しかし平均化処理では急な空気密度変化に対して十分な補正ができなかった。そこで,本論文では,離散時間カルマンフィルタを用いた補正法を提案した。シミュレーションにより提案補正法の有効性を確認した。

シソーラス用語： *Kalmanフィルタ ,  温度補償 ,  *音叉 ,  大気密度 ,  力 ,  MEMS ,  力センサ ,  MEMSセンサ

著者キーワード (10件)： カルマンフィルタ ,  空気密度補正 ,  温度補正 ,  気圧補正 ,  音叉センサ ,  Kalman filter ,  Air density compensation ,  Temperature compensation ,  Atmospheric pressure compensation ,  Tuning fork sensor

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

引用文献 (6件)：

• (1) 原田謹爾:「振動式センサ」,計測と制御,Vol. 28, pp. 509-513 (1989)
• (2) 西口 譲:「音叉式電子天びん」,計量管理,Vol. 37, No. 6·7, pp. 302-306 (1988)
• (3) T. Ueda, F. Kohsaka, and E. Ogita: “precision force transducers using mechanical resonators”, In Measurement, Vol. 3, pp. 89-94 (1985)
• (4) N. Shinozaki, K. Okamoto, M. Ikeshima, K. Terunuma, and K. Naito: “performance of tuning fork load cell”, oiml bulletin, pp. 20-27 (2015)
• (5) SPECIAL METALS. Ni-span-calloy902,http://www.specialmetals.com/documents/ni-span-c

タイトルに関連する用語 (2件)： カルマンフィルタ ,  音叉