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J-GLOBAL ID：201602285349250676   整理番号：16A0327625

ライン走査CCDに基づくリソグラフィーのための高速収束法【Powered by NICT】

High-speed focusing technique for lithography based on line scan CCD

著者 (4件)： Chen Changlong (Inst. of Optic and Electronics, Chinese Acad. of Sciences, Chengdu) ,  Di Chengliang (Inst. of Optic and Electronics, Chinese Acad. of Sciences, Chengdu) ,  Tang Xiaoping (Inst. of Optic and Electronics, Chinese Acad. of Sciences, Chengdu) ,  Hu Song (Inst. of Optic and Electronics, Chinese Acad. of Sciences, Chengdu)
資料名： Hongwai yu Jiguang Gongcheng  (Hongwai yu Jiguang Gongcheng)
巻： 44  号： 8  ページ： 2389-2394  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2521A  ISSN： 1007-2276  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： リソグラフィーの分解能の改善と,リソグラフィー投影対物レンズの焦点深度(DOF)が減少している。制限された自由度を十分に活用するために,集束はウエハを理想的な焦点面上に調整するために一般的に用いられる。集束の重要な点として,焦点検出に関する研究は非常に普及している。今回の焦点法は光シグナル,ウエハのデフォーカス量情報を運ぶ,,コンピュータに及ぼすプロセス画像グラブを用いない四象限検出器またはアレイCCDに基づいている。この方法は遅く,集束のためのリアルタイム要求を満たすことができない。従って,画像処理のための画像獲得とFPGAのための線走査CCDに基づいたが,焦点検出法を提供した。この方法は,ラインスキャンCCDとFPGAの並列性の高速性を利用して,多項式内挿法に基づくサブピクセル境界検出アルゴリズムとの結合による高速におけるデフォーカス量を検出することができる。デフォーカス量を補償するために,FPGAは,直接的にモータを制御するウエハステージを駆動する,集光系を実時間閉ループ。コンピュータリンクを削減するために,この設計は,高速,高分解能,低消費電力,低コスト特性。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 画像 ,  *高速度 ,  焦点深度 ,  分解能 ,  高分解能 ,  FPGA ,  対物レンズ ,  集束 ,  *リソグラフィー
準シソーラス用語： 検出アルゴリズム ,  サブピクセル ,  画像入力 ,  実時間 ,  デフォーカス ,  焦点面 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  撮像・録画装置  (ND12032E) ,  レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 走査 ,  CCD ,  リソグラフィー ,  収束