電子照射による高分子の帯電特性に及ぼすパラメータのマルチ複合効果の数値シミュレーション【Powered by NICT】

Feng Guobao; Wang Fang; Cao Meng

文献

J-GLOBAL ID：201602288259210763 整理番号：16A0320213

電子照射による高分子の帯電特性に及ぼすパラメータのマルチ複合効果の数値シミュレーション【Powered by NICT】

Numerical simulation of multi-combined effects of parameters on polymer charging characteristics due to electron irradiation

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資料名：
巻： 64 号： 22 ページ： 227901-1-227901-10 発行年： 2015年
JST資料番号： B0628A ISSN： 1000-3290 CODEN： WLHPA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：中国 (CHN) 言語：中国語 (ZH)

非浸透電子照射による絶縁体試料の帯電特性は走査電子顕微鏡,電子プローブ分析,および空間照射などの分野で大きな注目を集めている。本論文では,電子散乱を研究するためのモンテカルロ法に基づく数値シミュレーションモデルを用いた。弾性散乱はMott断面積を計算し,非弾性散乱は,一次エネルギーに従ってPennモデルと高速二次電子モデルでシミュレートした。ビルトイン電場と電荷密度勾配による電荷輸送を,時間領域有限差分法を用いて計算した。帯電特性に及ぼす相関パラメータの多重結合効果は効率的マルチスレッド並列計算により研究した。照射時に,一次電子のランディングエネルギーは負の表面電位,それは二次電子収率を増加させるために減少した。二次電子電流及び試料電流の変化は既存の実験結果と比較することにより,シミュレーションモデルの妥当性を検証するために提示した。漏れ電流,表面ポテンシャルと内部空間電荷量の変化は,入射電子電流,一次エネルギーと試料厚さの種々の条件の下で計算した。結果は,異なるパラメータの組合せ,一次エネルギーと試料移動度,一次エネルギーと試料厚さ,および一次エネルギーと入射電流による輪郭地図で示した。帯電の平衡状態が大きな一次エネルギー,試料移動度,入射電流,以下試料厚さ,漏れ電流支配モードとして示されるの条件下での漏れ電流により決定されるであろう。一方,より低い一次エネルギー,試料移動度,入射電流,またはより大きな試料厚さの場合,帯電の平衡状態は主に二次電子電流で支配される,二次電子電流はモードを支配していた。上記2以外の他の例では,平衡状態は混合モードとしての漏洩および二次電流の両方により決定されるであろう。同じモードでは,パラメータと帯電特性の変化は単調であった。パラメータの変化は,負の表面電位を増加させるとき,負の表面電位に及ぼすこのパラメータの影響は弱められるが,負電位に対する他のパラメータの影響は強化されるであろう。電流支配モードの変化を,全電荷量は試料厚さに関して局所最大を示し,この最大値は一次エネルギーとともに増加した。さらに,漏れ電流は入射電流は直線的に増加した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

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数理物理学 , 電子・陽電子との相互作用一般

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