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J-GLOBAL ID：201602289396957449   整理番号：16A1059498

ホットフィラメント化学蒸着法を用いた原子層MoS_2合成の特性化【Powered by NICT】

Characterization of atomic-layer MoS_2 synthesized using a hot filament chemical vapor deposition method

著者 (6件)： Peng Yingzi (Department of Physics, School of Science, Hangzhou Dianzi University) ,  Song Yang (Department of Physics, School of Science, Hangzhou Dianzi University) ,  Xie Xiaoqiang (Department of Physics, School of Science, Hangzhou Dianzi University) ,  Li Yuan (Department of Physics, School of Science, Hangzhou Dianzi University) ,  Qian Zhenghong (Center for Integrated Spintronic Devices, Hangzhou Dianzi University) ,  Bai Ru (Center for Integrated Spintronic Devices, Hangzhou Dianzi University)
資料名： Chinese Physics B  (Chinese Physics B)
巻： 25  号： 5  ページ： 058104-1-058104-6  発行年： 2016年 
JST資料番号： W1539A  ISSN： 1674-1056  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子層MoS_2超薄膜を熱フィラメント化学蒸着法を用いて合成した。原子間力顕微鏡(AFM),X線回折(XRD),高分解能透過型電子顕微鏡(HRTEM),光ルミネセンス(PL),およびX線光電子分光法(XPS)キャラクタリゼーション法の組み合わせは,超薄膜領域の結晶構造,原子価状態,および組成を調べるために適用した。核形成粒子は不規則な形態を示したが,大きなサイズのどこかのための,膜は粒状,結晶粒は三角形形状を有していた。膜は優先方位(002)で成長した。HRTEM像は積層欠陥の低密度を持つ積層層のグラフェン状構造を示し,平面の層間距離は約0.63nmであると測定された。明確なquasihoneycomb様構造と6配位対称性を示した。右と左の円偏光の条件下で原子層MoS_2の室温PLスペクトルは,両方の場合に,A1とB1直接励起子遷移が観察されることを示した。一方,バレー分極分解PLスペクトルが得られた。XPS測定は,空気からのいくつかの汚染とは別に高純度試料を提供し,純MoS_2の存在を確認した。S/Moの化学量論モル比は約2.0-2~0.1であり,硫黄は著者らの実験条件下で原子層MoS_2における豊富なよりも欠損していることを示唆した。Data from the ScienceChina, LCAS.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 光ルミネセンス ,  化学量論 ,  核形成 ,  原子間力顕微鏡 ,  *フィラメント ,  励起子 ,  X線光電子分光法 ,  *キャラクタリゼーション ,  X線回折 ,  結晶構造 ,  超薄膜 ,  優先配向 ,  グラフェン
準シソーラス用語： 光ルミネセンススペクトル ,  *原子層 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 原子層MoS_2 ,  熱フィラメント化学気相蒸着 ,  高分解能遷移電子顕微鏡(HRTEM) ,  X線光電子分光法(XPS)

分類 (2件)： 半導体のルミネセンス  (BM08092S) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O)

タイトルに関連する用語 (4件)： フィラメント ,  化学蒸着法 ,  原子層 ,  特性化