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J-GLOBAL ID:201602290229473683   整理番号:13A0588509

Effect of Electrode Location on Pull-in Range of Torsion Electrostatic Microactuators

著者 (1件):
資料名:
巻: 42  号:ページ: 168-172  発行年: 2012年 
JST資料番号: C2386A  ISSN: 1004-3365  CODEN: WEIDFK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)

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