文献
J-GLOBAL ID:201602290229473683
整理番号:13A0588509
Effect of Electrode Location on Pull-in Range of Torsion Electrostatic Microactuators
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著者 (1件):
資料名:
巻:
42
号:
2
ページ:
168-172
発行年:
2012年
JST資料番号:
C2386A
ISSN:
1004-3365
CODEN:
WEIDFK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
中国 (CHN)
言語:
中国語 (ZH)
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