Rigorous Vector Analysis of the Effect of Illumination Objective Lens Aberration on the Quality of Far-Field Diffracted Wave Front

文献

J-GLOBAL ID：201602290404388023 整理番号：13A1099520

著者 (3件)：

Lu Zengxiong

Lu Zengxiong について

(State Key Lab. of Applied Optics,Changchun Inst. of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Acad. of Sciences ...)

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Jin Chunshui

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Ma Dongmei

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資料名：

Guangxue Xuebao (Guangxue Xuebao)

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巻： 32 号： 8 ページ： 0812001-1-0812001-7 発行年： 2012年
JST資料番号： C2088A ISSN： 0253-2239 CODEN： GUXUDC 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：中国 (CHN) 言語：中国語 (ZH)

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