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J-GLOBAL ID：201602291589407361   整理番号：16A1013538

1つのX線イメージング型平応答低域通過フィルタ技術【JST・京大機械翻訳】

A Technology of X-Ray Imaging Flat-Response Low-Pass Filter

著者 (10件)： Yuan Zheng (Research Center of Laser Fusion,China Academy of Engineering Physics) ,  Cao Zhurong (Research Center of Laser Fusion,China Academy of Engineering Physics) ,  Zhu Xiaoli (Key Laboratory of Nano-Fabrication and Novel Devices Integrated Technology,Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences) ,  Deng Bo (Research Center of Laser Fusion,China Academy of Engineering Physics) ,  Li Jin (Research Center of Laser Fusion,China Academy of Engineering Physics) ,  Yang Zhiwen (Research Center of Laser Fusion,China Academy of Engineering Physics) ,  Hong Caihao (Institute of High Physics,Chinese Academy Sciences) ,  Liu Shenye (Research Center of Laser Fusion,China Academy of Engineering Physics) ,  Yang Jiamin (Research Center of Laser Fusion,China Academy of Engineering Physics) ,  Zhao Yidong (Institute of High Physics,Chinese Academy Sciences)
資料名： Guangxue Xuebao  (Guangxue Xuebao)
巻： 36  号： 5  ページ： 0534001-1-0534001-6  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2088A  ISSN： 0253-2239  CODEN： GUXUDC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 1つのすれすれ入射高複屈折微細円柱ミラーアレイに基づくX線イメージングを型平応答低域通過フィルタ技術を提案した。X線光学の理論に従って,微柱面ミラーアレイの平響に基づいて誘起低域フィルタの原理,素子の透過スペクトルの計算方法を解析し紹介した。電子ビーム技術に基づく金柱体直径200NM、深さ1.3ΜM、0.393のデューティサイクル微柱面鏡アレイサンプルをポリイミド基板上に作製した,理論の視射角2°のときにそのカットオフエネルギーは1250EVであった。計算によって,応答のない平坦性は5.7%であった。角度精度は0.1°の3次元精密ターン機構よりも優れている,北京シンクロトロン放射施設の4B7B軟X線ビームライン較正サンプルの異なるすれすれ入射角での透過率を利用して,予備較正結果を得た。高いエネルギーのX線に対する較正結果を示す,1KEV以上の異なるエネルギー各曲線にはいずれも低下傾向がある点,また角度が大きいほど低下するエネルギー点ほど偏軟視射角の増大が顕著な抑制効果を持つことを,説明した。電子ビームの技術限界の,サンプルのアスペクト比や側壁垂直側壁粗さなどのパラメータがそして理論の要求に達しなかったため,較正結果と理論計算値には一定の違いがあるため。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電子ビーム ,  *低域フィルタ ,  アスペクト比 ,  透過率 ,  すれすれ入射 ,  *X線 ,  平坦性 ,  複屈折 ,  軟X線 ,  *X線画像 ,  三次元 ,  ビームライン
準シソーラス用語： シンクロトロン放射施設 ,  透過スペクトル ,  マイクロミラー , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： X-ray optics ,  flat-response low-pass filter ,  grazing incident ,  micro-cylinder array ,  synchrotron radiation

分類 (1件)： 発光素子  (NC03082G)

タイトルに関連する用語 (3件)： X線イメージング ,  応答 ,  低域通過フィルタ