Shakerzadeh M. について
Data Storage Institute, (A*STAR) Agency for Science, Technology and Research, 138634, Singapore について
Parrot M. について
Data Storage Institute, (A*STAR) Agency for Science, Technology and Research, 138634, Singapore について
Parrot M. について
Ecole Superieure d’Ingenieurs de Recherche en Materiaux et InfoTronique (ESIREM), Dijon 21078, France について
Data Storage Institute, (A*STAR) Agency for Science, Technology and Research, 138634, Singapore について
Yang Y. について
Data Storage Institute, (A*STAR) Agency for Science, Technology and Research, 138634, Singapore について
Data Storage Institute, (A*STAR) Agency for Science, Technology and Research, 138634, Singapore について
Surface & Coatings Technology について
炭素 について
炭素材 について
窒化 について
蒸着膜 について
濡れ について
耐性 について
熱安定性 について
ウエハ【IC】 について
化学組成 について
微細構造 について
表面エネルギー について
X線光電子分光法 について
電子エネルギー損失分光法 について
窒素 について
流量 について
含有量 について
基板 について
バイアス について
黒鉛化 について
温度 について
熱処理 について
損傷 について
深さ について
カソード について
真空アーク について
焼なまし について
非晶質 について
濾過 について
イオンめっき について
FCVA について
アニーリング温度 について
アモルファスカーボン について
ケイ素基板 について
フィルタードカソード真空アーク蒸着 について
引掻傷 について
真空アーク蒸着 について
真空窒化 について
耐スクラッチ性 について
炭素膜 について
熱アニーリング について
非晶質炭素 について
非晶質炭素膜 について
Nitrogenated amorphous carbon について
Surface energy について
Nanoscratch について
Thermal stability について
その他の無機化合物の薄膜 について
炭素とその化合物 について
真空アーク について
成長 について
窒化 について
アモルファス について
カーボン膜 について
濡れ性 について
ナノスクラッチ について
熱安定性 について