特許
J-GLOBAL ID:201603000031058806
プラズマ生成装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
新居 広守
, 寺谷 英作
, 道坂 伸一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-122893
公開番号(公開出願番号):特開2016-004637
出願日: 2014年06月13日
公開日(公表日): 2016年01月12日
要約:
【課題】プラズマを効率良く生成する。【解決手段】液体21中で一対の電極間にプラズマを生成するプラズマ生成装置10であって、一対の電極の一方であり、中空部101を有する筒状の第1電極100と、第1電極100を囲むように配置され、第1電極100との間に空隙121を形成する絶縁体120と、一対の電極の他方であり、絶縁体120の外側の、液体21が溜められる外部空間に配置された第2電極110とを備え、絶縁体120は、外部空間と空隙121とを連通する開口部122を有し、プラズマ生成装置10は、さらに、中空部101に気体を供給することで、空隙121及び開口部122を介して液体21中に気体を放出する気体供給器130を備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
液体中で一対の電極間にプラズマを生成するプラズマ生成装置であって、
前記一対の電極の一方であり、中空部を有する筒状の第1電極と、
前記第1電極を囲むように配置され、前記第1電極との間に空隙を形成する絶縁体と、
前記一対の電極の他方であり、前記絶縁体の外側の、前記液体が溜められる外部空間に配置された第2電極とを備え、
前記絶縁体は、前記外部空間と前記空隙とを連通する開口部を有し、
前記プラズマ生成装置は、さらに、
前記中空部に気体を供給することで、前記空隙及び前記開口部を介して前記液体中に前記気体を放出する気体供給器を備える
プラズマ生成装置。
IPC (3件):
H05H 1/24
, B01J 19/08
, B01J 19/00
FI (3件):
H05H1/24
, B01J19/08 E
, B01J19/00 B
Fターム (16件):
4G075AA13
, 4G075AA61
, 4G075BA05
, 4G075BA08
, 4G075BB10
, 4G075CA47
, 4G075CA51
, 4G075DA02
, 4G075DA18
, 4G075EB41
, 4G075EC06
, 4G075EC21
, 4G075FB02
, 4G075FB04
, 4G075FC11
, 4G075FC15
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