特許

J-GLOBAL ID：201603000154225120

加速電圧ドリフトの補正方法、荷電粒子ビームのドリフト補正方法、及び荷電粒子ビーム描画装置

発明者： 溝口 裕規
出願人/特許権者： 株式会社ニューフレアテクノロジー
代理人 (3件)： 池上 徹真 ,  須藤 章 ,  松山 允之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-201876
公開番号（公開出願番号）：特開2016-072497
出願日： 2014年09月30日
公開日（公表日）： 2016年05月09日
要約：

【目的】加速電圧のドリフトを補正可能な方法を提供することを目的とする。【構成】本発明の一態様の加速電圧ドリフトの補正方法は、荷電粒子ビームの焦点位置が第1の調整値によって調整された後、所定の期間経過後に、改めて荷電粒子ビームの焦点位置を調整した場合の第2の調整値を測定する工程と、第1と第2の調整値とのずれ量を演算する工程と、記憶装置に記憶された相関関係を用いて、ずれ量に対応する、荷電粒子ビームを放出するビーム源に印加される加速電圧の補正値を演算する工程と、補正値を用いて、ビーム源に印加される加速電圧を補正する工程と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームの焦点位置が第1の調整値によって調整された後、所定の期間経過後に、改めて荷電粒子ビームの焦点位置を調整した場合の第2の調整値を測定する工程と、 前記第1と第2の調整値とのずれ量を演算する工程と、 記憶装置に記憶された相関関係を用いて、前記ずれ量に対応する、前記荷電粒子ビームを放出するビーム源に印加される加速電圧の補正値を演算する工程と、 前記補正値を用いて、前記ビーム源に印加される加速電圧を補正する工程と、 を備えたことを特徴とする加速電圧ドリフトの補正方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01J 37/305

FI (4件)：

H01L21/30 541V ,  H01L21/30 541N ,  G03F7/20 521 ,  H01J37/305 B

Fターム (6件)：

5C034BB04 ,  5C034BB10 ,  5F056AA05 ,  5F056AA16 ,  5F056CB02 ,  5F056CB33