Fe-Co系合金スパッタリングターゲット材およびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：中島淳 , 加藤和詳 , 福田浩志
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013065106
公開番号（公開出願番号）：WO2013-183546
出願日： 2013年05月30日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
要約：

本発明は、原子比における組成式が(Fea-Co100-a)100-b-c-d-Tab-Nbc-Md(0<a≦80、0≦b≦10、0≦c≦15、5≦b+c≦15、2≦d≦20、15≦b+c+d≦25、Mは、Mo、CrおよびWからなる群から選ばれる1つ以上の元素を表す。)で表され、不可避的不純物からなる残部を含み、かつ300°Cにおける曲げ破断歪率εfBが0.4%以上であるFe-Co系合金スパッタリングターゲット材を提供する。

請求項（抜粋）：

原子比における組成式が(Fea-Co100-a)100-b-c-d-Tab-Nbc-Md(0<a≦80、0≦b≦10、0≦c≦15、5≦b+c≦15、2≦d≦20、15≦b+c+d≦25、Mは、Mo、CrおよびWからなる群から選ばれる1つ以上の元素を表す。)で表され、不可避的不純物からなる残部を含み、かつ300°Cにおける曲げ破断歪率εfBが0.4%以上であるFe-Co系合金スパッタリングターゲット材。

IPC (7件)：

C23C 14/34 , C23C 14/14 , C22C 45/04 , C22C 45/02 , C22C 33/02 , G11B 5/851 , G11B 5/738

FI (7件)：

C23C14/34 A , C23C14/14 F , C22C45/04 D , C22C45/02 A , C22C33/02 B , G11B5/851 , G11B5/738

Fターム (39件)：

4K018AA25 , 4K018BA04 , 4K018BA09 , 4K018BA14 , 4K018BC12 , 4K018CA02 , 4K018EA01 , 4K018EA11 , 4K018EA21 , 4K018EA31 , 4K018KA29 , 4K018KA43 , 4K018KA58 , 4K018KA63 , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA21 , 4K029BA24 , 4K029BA26 , 4K029BA34 , 4K029BB02 , 4K029BB10 , 4K029BD11 , 4K029CA05 , 4K029DC04 , 4K029DC09 , 4K029DC34 , 4K029DC39 , 5D006CA03 , 5D006CA04 , 5D006DA03 , 5D006DA08 , 5D006EA03 , 5D006FA01 , 5D112AA04 , 5D112BD03 , 5D112BD08 , 5D112FA04 , 5D112FB02

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