特許

J-GLOBAL ID：201603000223645268

複合基板および機能素子

発明者： 東原 周平 ,  岩井 真
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (2件)： 細田 益稔 ,  青木 純雄
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013071579
公開番号（公開出願番号）：WO2014-025003
出願日： 2013年08月02日
公開日（公表日）： 2014年02月13日
要約：

窒化ガリウム単結晶からなる種結晶1の育成面1aに錐状または切頭錐状の突起2が規則的に配列されている。種結晶の育成面1a上にフラックス法によって厚さ100μm以下の窒化ガリウム結晶層4が直接形成されている。

請求項（抜粋）：

窒化ガリウム単結晶からなる種結晶であって、この種結晶の育成面に錐状または切頭錐状の突起が規則的に配列されている種結晶、および 前記種結晶の前記育成面上にフラックス法によって直接形成された厚さ100μm以下の窒化ガリウム結晶層を備えていることを特徴とする、複合基板。

IPC (2件)：

C30B 29/38 ,  C30B 19/12

FI (2件)：

C30B29/38 D ,  C30B19/12

Fターム (15件)：

4G077AA03 ,  4G077AB10 ,  4G077CG01 ,  4G077CG05 ,  4G077ED01 ,  4G077ED04 ,  4G077ED06 ,  4G077FJ06 ,  4G077HA02 ,  4G077HA06 ,  4G077HA12 ,  4G077QA01 ,  4G077QA11 ,  4G077QA71 ,  4G077QA77