薄膜センサ

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：落合健 , 仁木一明 , ▲ぬで▼島愼二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-219960
公開番号（公開出願番号）：特開2014-071085
特許番号：特許第6008426号
出願日： 2012年10月02日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】銅、マンガンおよびニッケルの合金である第1の合金の薄膜と、ニッケルおよびクロムの合金である第2の合金の薄膜とが積層され、前記積層された薄膜は、任意の直交軸に対して一方向の長さおよび幅の比が、他方向の長さおよび幅の比と同じであり、前記第1の合金の薄膜および前記第2の合金の薄膜の符号が逆で絶対値が略等しいゲージ率が相殺するように、前記第1の合金と前記第2の合金との膜厚比が設定されることを特徴とする薄膜センサ。

IPC (1件)：