結晶積層構造体及びその製造方法、並びに半導体素子

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：平田忠雄 , 岩永勇二 , 遠藤和光 , 伊藤浩行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-215441
公開番号（公開出願番号）：特開2016-082200
出願日： 2014年10月22日
公開日（公表日）： 2016年05月16日
要約：

【課題】クラックの少ない窒化物半導体層をGa2O3基板上に有する結晶積層構造体及びその製造方法、並びにその結晶積層構造体を含む半導体素子を提供する。【解決手段】ドナー濃度が1.0×1019/cm3以下であるGa2O3基板11と、Ga2O3基板11上に形成された、AlxGayN(0≦x≦1、0≦y≦1、x+y=1)で表される組成を有する結晶からなるバッファ層12と、バッファ層12上に形成された、AlxGayInzN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)で表される組成を有する結晶からなる、クラック領域密度が10%未満の窒化物半導体層13と、を有する結晶積層構造体10を提供する。上記クラック領域密度は、窒化物半導体層13の表面の主領域を1mm×1mmのグリッドに区画したときの、クラックを含む区域の数を全区域数で除した値を百分率で表したものである。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ドナー濃度が1.0×1019/cm3以下であるGa2O3基板と、前記Ga2O3基板上に形成された、AlxGayN(0≦x≦1、0≦y≦1、x+y=1)で表される組成を有する結晶からなるバッファ層と、前記バッファ層上に形成された、AlxGayInzN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)で表される組成を有する結晶からなる、クラック領域密度が10%未満の窒化物半導体層と、を有し、前記クラック領域密度は、前記窒化物半導体層の表面の主領域を1mm×1mmのグリッドに区画したときの、クラックを含む区域の数を全区域数で除した値を百分率で表したものであり、前記主領域は、前記窒化物半導体層の表面の、前記窒化物半導体層の幅の5%の幅の外周部分を除いた領域である、結晶積層構造体。

IPC (6件)：

H01L 21/205 , C23C 16/34 , C30B 29/38 , H01L 33/32 , H01L 33/16 , H01L 21/20

FI (7件)：

H01L21/205 , C23C16/34 , C30B29/38 D , C30B29/38 C , H01L33/00 186 , H01L33/00 160 , H01L21/20

Fターム (86件)：

4G077AA03 , 4G077AB02 , 4G077DB06 , 4G077ED05 , 4G077ED06 , 4G077EF02 , 4G077HA02 , 4G077TA04 , 4G077TB05 , 4G077TC13 , 4G077TK02 , 4G077TK06 , 4K030AA11 , 4K030AA13 , 4K030AA17 , 4K030AA18 , 4K030BA02 , 4K030BA08 , 4K030BA11 , 4K030BA38 , 4K030BB02 , 4K030BB13 , 4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030FA10 , 4K030JA01 , 4K030JA06 , 4K030JA09 , 4K030JA10 , 4K030LA01 , 4K030LA14 , 4K030LA15 , 4K030LA18 , 5F045AA04 , 5F045AB09 , 5F045AB14 , 5F045AB17 , 5F045AB18 , 5F045AC08 , 5F045AC12 , 5F045AC15 , 5F045AD08 , 5F045AD09 , 5F045AD10 , 5F045AD12 , 5F045AD13 , 5F045AD14 , 5F045AE25 , 5F045AF01 , 5F045AF13 , 5F045AF16 , 5F045BB13 , 5F045CA10 , 5F045CA11 , 5F045CB02 , 5F045DA52 , 5F045DA53 , 5F045DA55 , 5F045HA04 , 5F141AA40 , 5F141AA41 , 5F141CA04 , 5F141CA05 , 5F141CA23 , 5F141CA40 , 5F141CA49 , 5F141CA57 , 5F141CA65 , 5F152LL05 , 5F152LN03 , 5F152LN22 , 5F152MM10 , 5F152MM16 , 5F152NN01 , 5F152NN27 , 5F152NP09 , 5F152NQ09 , 5F241AA40 , 5F241AA41 , 5F241CA04 , 5F241CA05 , 5F241CA23 , 5F241CA40 , 5F241CA49 , 5F241CA57 , 5F241CA65

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