特許
J-GLOBAL ID：201603000491432463
有機膜の製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 ナカジマ知的財産綜合事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-036045
公開番号（公開出願番号）：特開2013-171765
特許番号：特許第5974244号
出願日： 2012年02月22日
公開日（公表日）： 2013年09月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板に設けられた少なくとも一つの凹部に、有機材料および溶媒を含む第1インクを塗布する第1工程と、
前記第1工程の後に、少なくとも上面の形状が定まるよう、前記第1インクを仮乾燥させることにより、前記有機材料を含むインク膜を形成する第2工程と、
前記第2工程の後に、前記インク膜上に、前記有機材料および溶媒を含む第2インクを塗布する第3工程と、
前記第3工程の後に、前記インク膜および第2インクを乾燥させることにより、有機膜を形成する第4工程と
を備え、
前記第3工程における前記第2インクの塗布量に対する、前記第1工程における前記第1インクの塗布量を示すインク塗布量比率は、前記第4工程において形成しようとする前記有機膜の上面の形状に応じて予め定められた比率を用いる、
有機膜の製造方法。
IPC (4件)：
H05B 33/10 ( 200 6.01)
, H05B 33/12 ( 200 6.01)
, H05B 33/22 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
H05B 33/10
, H05B 33/12 B
, H05B 33/22 Z
, H05B 33/14 A
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
