特許

J-GLOBAL ID：201603001004986757

構造物の表面検査装置および表面検査方法

発明者： 永島 良昭 ,  小西 孝明 ,  中野 博之 ,  溝田 裕久
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-001228
公開番号（公開出願番号）：特開2016-125949
出願日： 2015年01月07日
公開日（公表日）： 2016年07月11日
要約：

【課題】構造物表面に応力発光体を塗布してき裂の有無を検知する際に、構造物表面に音響によって能動的に圧力変化を与える構造物の検査装置および検査方法を提供する。【解決手段】検査対象である構造物に対して弾性波を励起する弾性波発生素子と、前記弾性波発生素子を駆動する送信器と、前記構造物の表面に応力に応じて発光する応力発光構造部を設けてある部位であって、前記弾性波によって圧力変化が生じている領域を撮像する撮像装置と、前記撮像装置により得られた前記構造物の画像に基づいて、前記構造物の表面の欠陥を検出する欠陥検出部を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検査対象である構造物に対して弾性波を励起する弾性波発生素子と、 前記弾性波発生素子を駆動する送信器と、 前記構造物の表面に応力に応じて発光する応力発光構造部を設けてある部位であって、前記弾性波によって圧力変化が生じている領域を撮像する撮像装置と、 前記撮像装置により得られた前記構造物の画像に基づいて、前記構造物の表面の欠陥を検出する欠陥検出部を備えることを特徴とする構造物の表面検査装置。

IPC (7件)：

G01N 29/06 ,  G01N 21/954 ,  G01N 21/88 ,  G01N 21/70 ,  G01N 29/36 ,  G01N 29/24 ,  G01N 29/44

FI (7件)：

G01N29/06 ,  G01N21/954 Z ,  G01N21/88 K ,  G01N21/70 ,  G01N29/36 ,  G01N29/24 ,  G01N29/44

Fターム (37件)：

2G043AA03 ,  2G043CA05 ,  2G043DA02 ,  2G043EA06 ,  2G043FA01 ,  2G043GA07 ,  2G043GB08 ,  2G043LA03 ,  2G047AA10 ,  2G047AC00 ,  2G047AD01 ,  2G047BA00 ,  2G047BB02 ,  2G047BC08 ,  2G047CB03 ,  2G047EA09 ,  2G047EA12 ,  2G047GA14 ,  2G047GA15 ,  2G047GD00 ,  2G047GF09 ,  2G047GF10 ,  2G047GF15 ,  2G047GF22 ,  2G047GJ02 ,  2G051AA90 ,  2G051AB03 ,  2G051AC12 ,  2G051AC16 ,  2G051CA03 ,  2G051CA20 ,  2G051CB10 ,  2G051CD01 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G051EB09 ,  2G051ED09