特許
J-GLOBAL ID：201603001071799260
クライオポンプ及びその再生方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
森下 賢樹
, 村田 雄祐
, 三木 友由
, 富所 輝観夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-045268
公開番号（公開出願番号）：特開2013-181448
特許番号：特許第5846966号
出願日： 2012年03月01日
公開日（公表日）： 2013年09月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 気体分子を吸着するための吸着領域を備えるクライオパネルと、
前記クライオパネルを囲むクライオポンプ容器と、
前記クライオポンプ容器を粗引きポンプに接続するためのラフバルブと、
前記クライオポンプ容器の内圧を測定するための圧力センサと、
前記圧力センサの停止期間と、前記クライオパネルの再生と、を制御するための制御部と、を備え、
前記制御部は、前記再生の初期段階に前記停止期間を設定し、かつその停止期間に少なくとも一度前記クライオポンプ容器の粗引きをするために前記ラフバルブを開き、
前記制御部は、前記停止期間が経過したとき前記圧力センサを起動し、前記圧力センサの動作中に少なくとも一度前記クライオポンプ容器の粗引きをするために前記ラフバルブを開くことを特徴とするクライオポンプ。
IPC (2件)：
F04B 37/08 ( 200 6.01)
, F04B 37/16 ( 200 6.01)
F04B 37/08
, F04B 37/16 D
, F04B 37/16 A
