特許

J-GLOBAL ID：201603001155292595

制御装置、制御方法、およびレーザー光発生装置

発明者： 藤田 五郎 ,  丸山 務 ,  浦川 禎之
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (10件)： 大森 純一 ,  高橋 満 ,  折居 章 ,  関根 正好 ,  中村 哲平 ,  吉田 望 ,  金子 彩子 ,  金山 慎太郎 ,  千葉 絢子 ,  白鹿 智久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-063862
公開番号（公開出願番号）：特開2016-184651
出願日： 2015年03月26日
公開日（公表日）： 2016年10月20日
要約：

【課題】高い強度を有するレーザー光を出力することができる共振器長の調整を確実に行うことができるレーザー光発生装置、これに用いられる制御装置および制御方法を提供すること。【解決手段】レーザー光発生装置は、光源部と、共振器部と、駆動部と、検出器と、誤差信号生成部と、制御部とを具備する。前記誤差信号生成部は、前記検出器による検出信号に基づき、共振条件からの共振器長の誤差を示す誤差信号を生成するように構成される。前記制御部は、サーチ信号を生成してこれを前記駆動部に入力することで、前記共振器部による共振条件を満たす、前記検出信号の適切値をサーチするように構成される。また、前記制御部は、前記適切値に対応する前記サーチ信号のバイアス値を駆動部に入力した状態で、前記誤差信号に基づき、サーボ制御を実行するように構成される。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

パルスレーザー光を発生する光源部と、 前記パルスレーザー光を共振させる共振器部と、 前記共振器部の共振器長を変位させる駆動部と、 前記共振器部からの反射光を検出する検出器とを備えるレーザー光発生装置の制御装置であって、 前記検出器による検出信号に基づき、前記共振条件からの前記共振器長の誤差を示す誤差信号を生成するように構成された誤差信号生成部と、 サーチ信号を生成してこれを前記駆動部に入力することで、前記共振器部による共振条件を満たす、前記検出信号の適切値をサーチするように構成され、前記適切値に対応する前記サーチ信号のバイアス値を駆動部に入力した状態で、前記誤差信号に基づき、サーボ制御を実行するように構成された制御部と を具備する制御装置。

IPC (4件)：

H01S 5/065 ,  G02F 1/39 ,  H01S 5/14 ,  H01S 5/068

FI (4件)：

H01S5/065 ,  G02F1/39 ,  H01S5/14 ,  H01S5/0683

Fターム (32件)：

2K102AA06 ,  2K102BA18 ,  2K102BB02 ,  2K102BC01 ,  2K102BD09 ,  2K102DA01 ,  2K102DA10 ,  2K102DA20 ,  2K102DB01 ,  2K102DD05 ,  2K102DD06 ,  2K102DD10 ,  2K102EA26 ,  2K102EB02 ,  2K102EB20 ,  2K102EB22 ,  2K102EB26 ,  5F173AB34 ,  5F173AB50 ,  5F173MA10 ,  5F173MF02 ,  5F173MF05 ,  5F173MF28 ,  5F173MF40 ,  5F173SA08 ,  5F173SA22 ,  5F173SC10 ,  5F173SE01 ,  5F173SF07 ,  5F173SF33 ,  5F173SF54 ,  5F173SF63