特許

J-GLOBAL ID：201603001471825554

プラズマ源

発明者： ジークフリート・クラスニッツァー ,  ヨルク・ハグマン
出願人/特許権者： エーリコン・サーフェス・ソリューションズ・アーゲー・トリューバッハ
代理人 (3件)： 村山 靖彦 ,  実広 信哉 ,  阿部 達彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-546892
公開番号（公開出願番号）：特表2016-509333
出願日： 2013年12月09日
公開日（公表日）： 2016年03月24日
要約：

本発明は、-プラズマ源中空体(1)と、自由電子を前記プラズマ源中空体内へ放射することを可能にする電子放射ユニット(5)とを有するプラズマ源であって、前記プラズマ源中空体(1)が、第1のガス吸入口(7a)と真空チャンバへの開口部を形成しているプラズマ源開口部(10)とを有しているプラズマ源、-アノード中空体(2)を有するアノードであって、前記アノード中空体(2)が、第2のガス吸入口(7b)と前記真空チャンバへの開口部を形成しているアノード開口部(11)とを有しているアノード、及び、-その負極が前記電子放射ユニット(5)に接続されており、その正極が前記アノード中空体(2)に接続されている電圧源(8)であって、前記電圧源(8)の前記正極は、追加的に、第1の副抵抗(6a)を介して、前記プラズマ源中空体に電気的に接続されている電圧源、を含むプラズマ生成装置に関する。

請求項（抜粋）：

-プラズマ源中空体(1)と、自由電子を前記プラズマ源中空体内へ放射することを可能にする電子放射ユニット(5)とを有するプラズマ源であって、前記プラズマ源中空体(1)が、第1のガス吸入口(7a)と真空チャンバへの開口部を形成しているプラズマ源開口部(10)とを有しているプラズマ源、 -アノード中空体(2)を有するアノードであって、前記アノード中空体(2)が、第2のガス吸入口(7b)と前記真空チャンバへの開口部を形成しているアノード開口部(11)とを有しているアノード、及び、 -その負極が前記電子放射ユニット(5)に接続されており、その正極が前記アノード中空体(2)に接続されている電圧源(8)、を含むプラズマ生成装置において、 前記電圧源(8)の前記正極は、追加的に、第1の副抵抗(6a)を介して、前記プラズマ源中空体に電気的に接続されていることを特徴とするプラズマ生成装置。

IPC (3件)：

H05H 1/24 ,  C23C 16/503 ,  H01L 21/306

FI (3件)：

H05H1/24 ,  C23C16/503 ,  H01L21/302 101

Fターム (30件)：

2G084AA02 ,  2G084AA03 ,  2G084AA05 ,  2G084AA07 ,  2G084AA15 ,  2G084BB06 ,  2G084BB25 ,  2G084BB27 ,  2G084CC02 ,  2G084CC18 ,  2G084CC25 ,  2G084CC33 ,  2G084DD17 ,  2G084DD25 ,  2G084DD66 ,  2G084FF04 ,  2G084FF14 ,  2G084FF28 ,  2G084FF29 ,  4K030AA09 ,  4K030AA10 ,  4K030BA28 ,  4K030FA01 ,  4K030KA11 ,  4K030KA30 ,  5F004AA16 ,  5F004BA20 ,  5F004BB01 ,  5F004BB07 ,  5F004BB12

引用特許：

出願人引用 (3件)

• プラズマ発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-173938   出願人：日本電子株式会社
• 特開平1-252781
  
• プラズマ成膜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-068480   出願人：スタンレー電気株式会社

審査官引用 (3件)

• プラズマ発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-173938   出願人：日本電子株式会社
• 特開平1-252781
  
• プラズマ成膜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-068480   出願人：スタンレー電気株式会社