クリーンルームの監視装置及びクリーンルームの監視方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人サクラ国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-153760
公開番号（公開出願番号）：特開2014-016799
特許番号：特許第6018821号
出願日： 2012年07月09日
公開日（公表日）： 2014年01月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】床部に取り外し可能な床面が配置されたクリーンルームの内部を監視するためのクリーンルームの監視装置であって、作業員が通行可能な通路の前記取り外し可能な床面を撮像する監視カメラと、前記監視カメラで得られた画像信号から前記取り外し可能な床面が取り外された開口部の有無を検出し、開口部が有る場合は当該開口部に接近する作業員の有無を前記監視カメラの画像信号から検出し、前記作業員が検出された際に警報信号を出力する監視部と、前記監視部から前記警報信号を受け、警報を発する警報発生手段とを具備したことを特徴とするクリーンルームの監視装置。

IPC (2件)：