特許
J-GLOBAL ID：201603001660487660
高性能誘導プラズマトーチ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-108280
公開番号（公開出願番号）：特開2016-192408
出願日： 2016年05月31日
公開日（公表日）： 2016年11月10日
要約：
【課題】エネルギー結合効率を損失することなくアーク発生を除去し、プラズマ放電キャビティへの出力/エネルギー密度を増加させる。【解決手段】誘導プラズマトーチは、管状トーチ本体と、管状トーチ本体内に同軸上に配置されたプラズマ閉込管と、プラズマ閉込管の一方の端部に配置され、プラズマ閉込管内に少なくとも1つの気体状物質を供給するガス分配器ヘッドと、プラズマ閉込管内にプラズマを生成および維持するエネルギーを加えるための誘導結合部材と、プラズマ閉込管の外側表面または管状トーチ本体の内側表面に施された導電材料の膜を含む容量性シールド部とを含む。導電材料の膜は、一方の端部において相互接続された軸方向ストリップに分割される。導電材料の膜は、計算される表皮厚さよりも小さい厚さを有する。軸方向溝は、プラズマ閉込管の外側表面または管状トーチ本体の内側表面に加工され、軸方向ストリップ間に配置され得る。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
誘導プラズマトーチに使用するためのプラズマ閉込管であって、幾何学的軸および外側表面を画成し、前記外側表面に施され軸方向ストリップに分割された導電材料の膜を含む容量性シールド部を含み、前記軸方向ストリップは、一方の端部において相互接続されており、前記膜は、前記誘導プラズマトーチの動作周波数、および前記膜の前記導電材料の電気伝導率に関して計算される表皮厚さよりも小さい厚さを有することを特徴とするプラズマ閉込管。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (15件)：
2G084AA01
, 2G084AA26
, 2G084BB02
, 2G084BB07
, 2G084BB36
, 2G084CC13
, 2G084CC34
, 2G084DD03
, 2G084DD13
, 2G084FF33
, 2G084FF38
, 2G084FF39
, 2G084GG03
, 2G084GG08
, 2G084GG29
