特許
J-GLOBAL ID:201603001663281221

搬送システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柴山 健一
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-509092
特許番号:特許第5880693号
出願日: 2013年03月07日
請求項(抜粋):
【請求項1】 一意に識別可能な識別情報が付された被搬送物を搬送する搬送システムであって、 半導体製造装置の近傍に設けられ、前記被搬送物を収納する収納棚と、 前記収納棚に前記被搬送物を搬入すると共に、前記収納棚から前記被搬送物を搬出し、前記収納棚と前記半導体製造装置との間で前記被搬送物を移載するスタッカクレーンと、 天井部に設置された軌道に沿って走行し、前記被搬送物を把持するグリッパを昇降させて前記被搬送物を搬送する天井搬送車と、 前記スタッカクレーンに設けられ、前記被搬送物に付された前記識別情報を取得する識別情報取得手段と、 前記識別情報取得手段により取得された前記識別情報と前記被搬送物の搬送指令に含まれる識別情報とが一致している場合に、前記搬送指令における搬送先に前記被搬送物を搬送するように前記スタッカクレーンを制御する制御手段と、を備え、 前記収納棚の少なくとも一部は、前記天井搬送車の前記グリッパによる前記被搬送物の出し入れが可能とされており、前記スタッカクレーンと前記天井搬送車との間で前記被搬送物をやり取りするためのポートとして機能することを特徴とする搬送システム。
IPC (1件):
B65G 1/04 ( 200 6.01)
FI (2件):
B65G 1/04 503 ,  B65G 1/04 551 A
引用特許:
出願人引用 (6件)
  • 搬送システム
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-288592   出願人:村田機械株式会社
  • 物品保管設備
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2004-280920   出願人:村田機械株式会社
  • 特許第4730617号
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審査官引用 (6件)
  • 搬送システム
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-288592   出願人:村田機械株式会社
  • 物品保管設備
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2004-280920   出願人:村田機械株式会社
  • 特許第4730617号
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