特許
J-GLOBAL ID：201603001727047090
スクライブ処理システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-113060
公開番号（公開出願番号）：特開2013-237236
特許番号：特許第5994381号
出願日： 2012年05月17日
公開日（公表日）： 2013年11月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 外周面に刃部を有するホイールチップを回転自在に保持するチップホルダが取り付けられるホルダジョイントを有するとともに、所定の保持手段に保持された脆性材料基板に対し相対移動可能に設けられてなるスクライブヘッド、
を備え、
前記チップホルダを前記スクライブヘッドに取り付けた状態で、前記チップホルダに保持された前記ホイールチップを前記脆性材料基板に接触させつつ前記スクライブヘッドを前記脆性材料基板に対し相対移動させることによって、前記脆性材料基板にスクライブを行うスクライブ処理システムであって、
前記チップホルダが保持する前記ホイールチップを一意に識別可能な管理番号を含む情報がコードとして前記チップホルダに印字されてなる場合に、前記コードから前記ホイールチップの前記管理番号を復元する復元手段と、
前記スクライブの際のホイールチップの動作態様を特徴付けるパラメータであって該当するスクライブ動作が行われる度に値が増加するパラメータをチップパラメータとするとき、個々のホイールチップについての少なくとも1つの前記チップパラメータの値の履歴を使用履歴データとして保持する使用履歴データ保持手段と、
前記スクライブ処理システムに実行させるスクライブ処理の内容を前記少なくとも1つの前記チップパラメータについて個別に定めた交換推奨値とともに記述してなる少なくとも1つのレシピデータを保持するレシピデータ保持手段と、
前記少なくとも1つのレシピデータから前記スクライブ処理システムに実行させる一のレシピデータを選択するための指示を含む、前記スクライブ処理システムに対する種々の指示を入力可能な入力手段と、
をさらに備え、
前記スクライブヘッドにおいては、前記チップホルダが取り付けられた前記ホルダジョイントが水平面内において回転自在とされてなるとともに、前記ホイールチップの回転中心と前記ホルダジョイントの回転軸の水平位置がずれており、
前記一のレシピデータに基づく前記スクライブ処理が、第1の方向へのスクライブを行った後、前記第1の方向とは異なる第2の方向へのスクライブを行うようになっている場合において、前記第2の方向へのスクライブを開始した直後に生じる、前記脆性材料基板に接触した状態における前記ホイールチップの強制的な姿勢変更を、前記ホイールチップのねじれとするとき、
前記スクライブ処理の間に行われる前記ねじれの回数が前記チップパラメータとして定められてなり、
前記入力手段を通じて選択された前記一のレシピデータに従う前記スクライブ処理を前記コードが読み取られたホイールチップを用いて行う際に、前記一のレシピデータに記述された前記スクライブ処理の実行内容から演算される前記チップパラメータの増分値と、前記使用履歴データに記録された前記チップパラメータについての従前までの積算値とを加算することにより、前記スクライブ処理後における前記チップパラメータの積算値の到達予想値を求め、一のホイールチップについての前記チップパラメータの前記到達予想値が前記交換推奨値を上回る場合、前記一のホイールチップが交換推奨状態にあることを報知する、
ことを特徴とするスクライブ処理システム。
IPC (2件)：
B28D 5/00 ( 200 6.01)
, C03B 33/027 ( 200 6.01)
B28D 5/00 Z
, C03B 33/027
