特許
J-GLOBAL ID：201603001789713208
薬液処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人前田特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013003611
公開番号（公開出願番号）：WO2013-187036
出願日： 2013年06月07日
公開日（公表日）： 2013年12月19日
要約：
薬液処理装置(S)を、薬液タンク(12)からシャワー配管(16)を介してシャワーノズル(14)に薬液(L)を送る過程で、添加液タンク(25)から添加液配管(26)を介してシャワー配管(16)を流れる薬液(L)に添加液(L2)を補給し、シャワーノズル(14)から被処理基板(W)の表面に供給した後の薬液(L)を薬液タンク(12)に回収するように構成する。
請求項（抜粋）：
被処理体が搬入される薬液処理槽と、
添加液を貯留する添加液タンクと、
上記薬液処理槽の内部に設けられ、上記添加液の成分を含む薬液を放出して該薬液を上記被処理体の表面に上方から供給する薬液供給手段と、
上記薬液供給手段の下方に設けられ、上記薬液供給手段から被処理体に供給された薬液を貯留する薬液タンクと、
上記薬液タンクと上記薬液供給手段とを接続して上記薬液タンクの薬液を上記薬液供給手段に送る第1配管と、
上記添加液タンクと上記第1配管とを接続して上記添加液タンクの添加液を上記第1配管に流れる薬液に補給する第2配管とを備える
ことを特徴とする薬液処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/306 J
, B08B3/02 A
3B201AA02
, 3B201AB14
, 3B201BB22
, 3B201BB44
, 3B201CB15
, 3B201CC01
, 3B201CC12
, 3B201CD22
, 3B201CD42
, 3B201CD43
, 5F043EE07
, 5F043EE23
, 5F043EE31
