特許
J-GLOBAL ID：201603001821823347
研磨パッド及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
辻居 幸一
, 熊倉 禎男
, 弟子丸 健
, 井野 砂里
, 松下 満
, 倉澤 伊知郎
, 吉野 亮平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-147525
公開番号（公開出願番号）：特開2014-008577
特許番号：特許第5994183号
出願日： 2012年06月29日
公開日（公表日）： 2014年01月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 研磨面に渦巻き状のスラリー拡散構造が設けられている研磨パッドであって、
前記スラリー拡散構造は、n(n>2)個の溝群を備え、
各溝群は、所定の中心角を有する円弧形状に延びる複数の溝を有し、
円弧形状に延びる複数の溝は、各々半径が異なり、等間隔に且つ同心状に配置されており、同心円弧の溝を有するこれらn(n>2)個以上の溝群は、各同心円弧の溝群における中心同士が重ならないように、且つ、隣接する溝群の溝同士が連続するように前記研磨面に形成されており、
n個の前記溝群の同心円弧の中心によって形成されるn角形の一辺の長さは、溝の間の幅の整数倍である、研磨パッド。
IPC (2件)：
B24B 37/26 ( 201 2.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
B24B 37/00 T
, H01L 21/304 622 F
