金属充填装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村上智司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-534700
特許番号：特許第6033782号
出願日： 2012年09月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被処理物表面の、該表面に開口するように形成された微小空間内に、溶融金属を充填する金属充填装置であって、前記被処理物が保持される処理室を具備した処理部本体と、溶融状態の金属を貯留する供給用タンク、一端が前記供給用タンクに接続され、他端が前記処理部本体の処理室に接続された供給管、並びに該供給管に介装され、前記供給用タンク内の溶融金属を、前記供給管を介して前記処理室内に供給する供給機を含んで構成される溶融金属供給機構とを備えた金属充填装置において、前記処理室内に供給された溶融金属を該処理室内から回収する溶融金属回収機構を備え、前記処理部本体は、前記被処理物を保持する保持部材と、内部空間を有し、一端が前記保持部材と対向して設けられる筒状部材と、該筒状部材の内部空間内に進退自在、且つ気密状に挿入された押付部材とを含んで構成されるとともに、前記保持部材に保持される被処理物又は前記保持部材と、前記筒状部材及び前記押付部材とによって気密状の処理室が形成され、前記金属充填装置は、更に、前記処理室に接続され、該処理室内に加圧した気体を供給する気体供給機構と、前記保持部材に保持される被処理物に対して前記押付部材を進退させる押付機構とを備え、前記押付機構は、前記押付部材を、前記被処理物の表面に当接する押付位置と、前記被処理物から離反した待機位置とに移動させるように構成され、前記気体供給機構は、前記溶融金属回収機構の一部として機能するように構成されていることを特徴とする金属充填装置。

IPC (8件)：

B22D 19/00 ( 200 6.01) , B22D 18/02 ( 200 6.01) , H01L 21/3205 ( 200 6.01) , H01L 21/768 ( 200 6.01) , H01L 23/522 ( 200 6.01) , H01L 25/065 ( 200 6.01) , H01L 25/07 ( 200 6.01) , H01L 25/18 ( 200 6.01)

FI (4件)：

B22D 19/00 W , B22D 18/02 B , H01L 21/88 J , H01L 25/08 C

引用特許：

出願人引用 (10件)

特開昭61-130440
特開平3-268853
特開昭50-123544

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審査官引用 (12件)

特開昭61-130440
特開昭61-130440
特開平3-268853

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