特許
J-GLOBAL ID:201603001938912995

複数の高調波モードを有するマイクロ機械加工超音波変換器アレイ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (8件): 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  上杉 浩 ,  近藤 直樹 ,  山崎 貴明
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-539616
公開番号(公開出願番号):特表2016-503312
出願日: 2013年10月03日
公開日(公表日): 2016年02月04日
要約:
例えば、同じデバイス内で高周波及び低周波作動の両方を達成するために、複数の共振モードが可能なマイクロ機械加工超音波変換器(MUT)アレイ及びそれらを作動させるための技術を説明する。実施形態において、膜にわたって共振周波数を調整するための様々なサイズの圧電膜が製作される。様々なサイズの圧電膜は、異なるモード及び周波数で発振する膜の間の破壊的干渉を軽減するために基板の長さにわたって徐々に遷移する。【選択図】図1A
請求項(抜粋):
媒体中に圧力波を発生させてそれを感知するための装置であって、 各々が膜、単一駆動/感知電極、及び基準電極を有する複数の変換器要素を含むマイクロ機械加工超音波変換器(MUT)アレイと、 第1共振周波数帯域に関連付けられた第1モードと該第1共振周波数帯域内の1つ又はそれよりも多くの周波数よりも高い1つ又はそれよりも多くの周波数を有する第2共振周波数帯域に関連付けられた第2モードとを含む少なくとも2つの発振モードを用いて前記MUTアレイを作動させる駆動又は感知回路と、 を含むことを特徴とする装置。
IPC (6件):
A61B 8/00 ,  H04R 17/00 ,  H01L 41/113 ,  H01L 41/04 ,  H01L 41/193 ,  H01L 41/09
FI (7件):
A61B8/00 ,  H04R17/00 330K ,  H04R17/00 332A ,  H01L41/113 ,  H01L41/04 ,  H01L41/193 ,  H01L41/09
Fターム (14件):
4C601BB06 ,  4C601DE08 ,  4C601EE04 ,  4C601GB03 ,  4C601GB19 ,  4C601GB41 ,  4C601GB44 ,  4C601GB45 ,  4C601HH30 ,  4C601HH35 ,  5D019AA09 ,  5D019BB19 ,  5D019BB21 ,  5D019BB24
引用特許:
審査官引用 (3件)

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