特許

J-GLOBAL ID：201603002198035843

静電容量式変位センサ

発明者： 西川 桂一 ,  南谷 隆弘 ,  廣瀬 泰久 ,  伊藤 一寿
出願人/特許権者： CKD株式会社
代理人 (2件)： 山田 強 ,  松田 洋
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013076282
公開番号（公開出願番号）：WO2014-054529
出願日： 2013年09月27日
公開日（公表日）： 2014年04月10日
要約：

絶縁材料により形成された柱状部材31と、柱状部材31の所定範囲を内部に挿入させ、スプール22の変位に伴って移動する金属製の筒状部材33と、柱状部材31の外表面部上に薄膜状に形成された一対の固定電極40A,40Bと、柱状部材31の外表面部上に薄膜状に形成された補償電極41,42と、固定電極40A,40B、筒状部材33、及び補償電極41,42から絶縁された状態でそれら電極を覆い、接地されている静電シールド37と、柱状部材31の外表面部上に薄膜状に形成され、電極40A,40B,41,42にそれぞれ接続されて静電シールド37の外部まで、静電シールド37から絶縁された状態で長手方向へ延びる固定電極端子及び補償電極端子と、を備える。

請求項（抜粋）：

絶縁材料により形成された外表面部を有する棒状部材と、 前記棒状部材における長手方向の一端から所定範囲を内部に挿入させ、計測対象の変位に伴って前記長手方向に移動する筒状部材と、 前記棒状部材の前記外表面部上に薄膜状に形成され、前記棒状部材を挟んで互いに対向する一対の固定電極と、 前記固定電極及び前記計測対象から絶縁された状態で前記筒状部材に設けられ、前記一対の固定電極に対向する一繋がりの可動電極と、 前記棒状部材の前記外表面部上に薄膜状に形成され、前記可動電極と対向しない補償電極と、 前記固定電極、前記可動電極、及び前記補償電極から絶縁された状態でそれら電極を覆い、接地されている静電シールドと、 前記棒状部材の前記外表面部上に薄膜状に形成され、前記固定電極の各々に接続されて前記静電シールドの外部まで、前記静電シールドから絶縁された状態で前記長手方向へ延びる固定電極端子と、 前記棒状部材の前記外表面部上に薄膜状に形成され、前記補償電極に接続されて前記静電シールドの外部まで、前記静電シールドから絶縁された状態で前記長手方向へ延びる補償電極端子と、 を備えることを特徴とする静電容量式変位センサ。

IPC (1件)：

G01D 5/241

FI (1件)：

G01D5/241 B

Fターム (9件)：

2F077AA21 ,  2F077AA46 ,  2F077HH02 ,  2F077HH06 ,  2F077HH11 ,  2F077TT01 ,  2F077UU06 ,  2F077UU13 ,  2F077UU26