特許

J-GLOBAL ID：201603002217867480

測定装置、及びそれを用いた測定方法

発明者： 尾内 敏彦 ,  湯川 光彬
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-234308
公開番号（公開出願番号）：特開2016-109687
出願日： 2015年11月30日
公開日（公表日）： 2016年06月20日
要約：

【課題】 テラヘルツ波を用いて被検体の画像を取得する測定装置において、S/N比を向上してより高速に測定を行うことができる測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】 被検体8を透過又は被検体で反射したテラヘルツ波パルス6を測定する測定装置100であって、パルス光46が伝搬することによりテラヘルツ波パルスを発生する電気光学結晶43を有する導波路48と、電気光学結晶から発生するテラヘルツ波パルスが伝搬する伝搬部45と、伝搬部を伝搬した後に被検体に照射され、被検体を透過又は被検体で反射したテラヘルツ波パルスの平均出力を検出する検出部9と、を有し、パルス光の中心波長における電気光学結晶の屈折率は、電気光学結晶から発生するテラヘルツ波パルスの中心波長における電気光学結晶の屈折率より低い。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被検体を透過又は前記被検体で反射したテラヘルツ波パルスを測定する測定装置であって、 パルス光が伝搬することによりテラヘルツ波パルスを発生する電気光学結晶を有する導波路と、 前記電気光学結晶から発生するテラヘルツ波パルスが伝搬する伝搬部と、 前記伝搬部を伝搬した後に前記被検体に照射され、前記被検体を透過又は前記被検体で反射したテラヘルツ波パルスの平均出力を検出する検出部と、を有し、 前記パルス光の中心波長における前記電気光学結晶の屈折率は、前記電気光学結晶から発生するテラヘルツ波パルスの中心波長における前記電気光学結晶の屈折率より低い ことを特徴とする測定装置。

IPC (3件)：

G01N 21/358 ,  G01N 21/17 ,  G01N 21/88

FI (3件)：

G01N21/3586 ,  G01N21/17 630 ,  G01N21/88 Z

Fターム (38件)：

2G051AA02 ,  2G051AA03 ,  2G051AA05 ,  2G051AB02 ,  2G051AB06 ,  2G051BA06 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051DA06 ,  2G051EC01 ,  2G051EC04 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059BB11 ,  2G059BB12 ,  2G059BB15 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059EE12 ,  2G059FF02 ,  2G059GG01 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ03 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK09 ,  2G059KK10 ,  2G059MM01