特許
J-GLOBAL ID：201603002268159413
多電極積層構成体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
蔵田 昌俊
, 野河 信久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-089405
公開番号（公開出願番号）：特開2016-173992
出願日： 2016年04月27日
公開日（公表日）： 2016年09月29日
要約：
【課題】強力な電界条件下でも高い機械的安定性を実現しつつ、多数の荷電粒子小ビームの使用を可能にする、荷電粒子ビーム発生器およびリソグラフィシステムとその構成部材とを提供する。【解決手段】荷電粒子ビーム発生器50は、光軸Aに沿って荷電粒子ビーム54を発生するための荷電粒子ビーム源52と、荷電粒子ビーム54をコリメートするためのコリメータ電極積層体70と、荷電粒子ビーム源52を収容するためのビーム源真空チャンバ53と、コリメータ電極積層体70とビーム源真空チャンバ53とを収容するための発生器真空チャンバ51とを備え、コリメータ電極積層体70がビーム源真空チャンバ53の外に位置されている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
電極積層体(70)、特にコリメータ電極積層体であって、
光軸(A)に沿って荷電粒子ビーム(54)を処理するための複数の積層された電極(71〜80)であって、各電極は、前記荷電粒子ビームの通過を可能にするための電極アパチャ(82)を有している電極本体(81)を備え、複数の前記電極本体は、前記光軸と実質的に平行である軸方向(Z)に沿って互いに離間され、前記電極アパチャは、前記光軸に沿って同軸的にアラインメントされている、電極と、
電気絶縁材料から本質的に形成され、前記軸方向(Z)に沿って所定の相互距離をおいて前記電極(71〜80)を位置決めするために隣接した電極の各対間に配置されたスペーサ構成体(89)と
を具備し、
第1の電極および第2の電極(71〜80)とは、夫々、1または複数の支持部分(86)を有している電極本体(81)を備え、各支持部分が、少なくとも1つのスペーサ構成体(89)を収容するように構成され、
前記電極積層体は、前記少なくとも1つのスペーサ構成体(89)が間に配置された状態で前記第1の電極および前記第2の電極の各支持部分(86)を共に保持するように構成された少なくとも1つのクランプ留め部材(91〜91c)を有して形成されている、電極積層体(70)。
IPC (4件)：
H01J 37/18
, H01L 21/027
, H01J 37/305
, H01J 37/12
H01J37/18
, H01L21/30 541B
, H01L21/30 541W
, H01J37/305 B
, H01J37/12
5C033CC06
, 5C033KK03
, 5C034BB04
, 5C034BB10
, 5F056AA33
, 5F056EA02
, 5F056EA05
