特許
J-GLOBAL ID：201603002388913189
スクライブ方法及びスクライブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 武志
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013002571
公開番号（公開出願番号）：WO2014-010154
出願日： 2013年04月16日
公開日（公表日）： 2014年01月16日
要約：
スクライブ装置1は、上面にアライメントマークM1、M2、M3・・・が記された脆性材料基板としてのガラス基板5を載置し、位置決めし、吸着固定するワークテーブル6と、ワークテーブル6の上方において、ガラス基板5の上面に平行してXY平面座標系の移動を行うスクライブヘッド2と、スクライブヘッド2に並設され、スクライブヘッド2と共に一体となっているCCDカメラ10と、スクライブヘッド2及びCCDカメラ10を一体としてXY平面座標系を移動させる共通のX軸移動手段3及びY軸移動手段4と、CCDカメラ10による撮像指示、撮像した画像の画像処理及び演算処理を行う画像処理装置と、X軸移動手段3及びY軸移動手段4の移動を数値制御するNC装置とを備えている。
請求項（抜粋）：
アライメントマークを記した脆性材料基板を、テーブル上面において、NC装置に設定されたワーク座標系に合わせて位置決めした状態で、スクライブヘッドとCCDカメラとを一体として、共通の移動手段により、上記ワーク座標系において移動させ、上記脆性材料基板に記され、直交配置関係にある少なくとも3点のアライメントマークM1、M2及びM3の上記ワーク座標系における設定座標値M1(X=X1、Y=Y1)、M2(X=X2、Y=Y1)及びM3(X=X1、Y=Y2)に、上記CCDカメラのカメラセンターを合わせ、それぞれのアライメントマークM1、M2及びM3を撮像し、撮像したアライメントマークM1、M2及びM3の画像に対して画像処理を行い、この画像処理の結果に基づいて、上記アライメントマークM1、M2及びM3それぞれのマークセンターM1C、M2C及びM3Cの上記ワーク座標系における実際の位置の座標値を計測し、これらマークセンターM1C、M2C及びM3Cの計測されたそれぞれの座標値と上記アライメントマークM1、M2及びM3の設定座標値M1(X=X1、Y=Y1)、M2(X=X2、Y=Y1)及びM3(X=X1、Y=Y2)とに基づいて演算処理を行い、上記アライメントマークM1のマークセンターM1Cの実際の位置の上記座標値が、指令された座標値(X=0、Y=0)に、上記アライメントマークM2のマークセンターM2Cの実際の位置の上記座標値が、指令された座標値(X=X2-X1、Y=0)に、そして、上記アライメントマークM3のマークセンターM3Cの実際の位置の上記座標値が、指令された座標値(X=0、Y=Y2-Y1)になるワーク座標系に変更し、この変更したワーク座標系において、プログラムに基づき、スクライブヘッドを移動させ、上記位置決め状態にある脆性材料基板に、アライメントマークに合わせたスクライブラインを形成するスクライブ方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
3C069AA03
, 3C069BC07
, 3C069CA11
, 3C069DA00
, 3C069EA01
, 3C069EA02
, 4G015FA03
, 4G015FB01
, 4G015FC14
