特許
J-GLOBAL ID：201603002735050897
成膜装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
古部 次郎
, 千田 武
, 加藤 謹矢
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-285154
公開番号（公開出願番号）：特開2014-127664
特許番号：特許第5968776号
出願日： 2012年12月27日
公開日（公表日）： 2014年07月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 上方に設けられた天井と当該天井の下方に設けられた床部と当該天井および当該床部を接続する側壁とによって囲われた内部空間を有し、当該床部側において膜の形成面が当該上方を向くように基板を収容する収容室と、
前記内部空間に、前記基板の側方から当該基板に向かう第1方向に沿って、前記膜の原料となる原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
前記内部空間に、前記天井から前記床部に向かう第2方向に沿って、前記原料ガスの当該天井側への移動を抑制するブロックガスを供給するブロックガス供給手段と、
前記内部空間に収容された前記基板を加熱する加熱手段と、
前記内部空間における上方側において、前記第2方向に延び且つ前記第1方向を横切るように設けられ、当該内部空間における上方側を仕切る仕切部材と、
前記基板よりも前記第1方向の下流側で前記収容室に接続され、前記基板を通過した前記原料ガスおよび前記ブロックガスを当該収容室の外部に排出する排気ダクトとを備え、
前記排気ダクトは、前記仕切部材よりも前記第1方向の下流側で前記天井から前記第2方向に延びる前記側壁に接続され、当該側壁から当該第1方向に沿って遠ざかるにしたがって当該第2方向に傾斜して延びる傾斜壁を有し、
前記収容室と前記排気ダクトとの接続部には、前記内部空間から前記原料ガスおよび前記ブロックガスを排出するための排出口が、前記第2方向に高さを有して設けられるとともに、
前記仕切部材は、前記基板からみて前記第1方向の下流側且つ上方に配置される下流側仕切部材を備え、
前記排出口における上端の位置と前記下流側仕切部材における下端の位置とが、ほぼ同じ高さに設定されることを特徴とする成膜装置。
IPC (2件)：
H01L 21/205 ( 200 6.01)
, C23C 16/455 ( 200 6.01)
H01L 21/205
, C23C 16/455
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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