特許

J-GLOBAL ID：201603003051791550

静電アクチュエーターおよび可変容量デバイス

発明者： 埴原 甲二
出願人/特許権者： パイオニア株式会社 ,  パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人真菱国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-001353
公開番号（公開出願番号）：特開2016-106405
出願日： 2016年01月06日
公開日（公表日）： 2016年06月16日
要約：

【課題】簡単な構成で、固定電極から第1可動梁を引き離す際に強い引離し力を得ることができる静電アクチュエーターを提供する。【解決手段】シリコン基板2に設けられた固定駆動電極21と、伸縮可能に構成された折り返し構造を為し、絶縁体で構成される連結部34を介して連なる複数の可動梁31,32を有する可動部22と、を備え、可動部22は、複数の可動梁31,32のうち固定駆動電極21側に位置する第1可動梁31と固定駆動電極21との間の静電気力により複数の可動梁31,32間が拡開することで、第1可動梁31が固定駆動電極21に近づき、隣り合う可動梁31,32の相互の静電気力により可動梁31,32間が縮むことで、第1可動梁31が固定駆動電極21から離れる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板に設けられた固定電極と、 伸縮可能に構成された折り返し構造を為し、絶縁体で構成される連結部を介して連なる複数の可動梁を有する可動部と、を備え、 前記可動部は、前記複数の可動梁のうち前記固定電極側に位置する第1可動梁と前記固定電極との間の静電気力により前記複数の可動梁間が拡開することで、前記第1可動梁が前記固定電極に近づき、隣り合う前記可動梁の相互の静電気力により前記可動梁間が縮むことで、前記第1可動梁が前記固定電極から離れることを特徴とする静電アクチュエーター。

IPC (3件)：

H01G 5/16 ,  B81B 3/00 ,  H02N 1/00

FI (3件)：

H01G5/16 ,  B81B3/00 ,  H02N1/00

Fターム (13件)：

3C081AA13 ,  3C081BA43 ,  3C081BA46 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081CA03 ,  3C081CA14 ,  3C081DA03 ,  3C081DA27 ,  3C081DA30 ,  3C081DA45 ,  3C081EA24 ,  3C081EA41