特許
J-GLOBAL ID：201603003132475784
ウェハ接着システム、及びその接着並びに剥離方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-556742
特許番号：特許第6001568号
出願日： 2012年02月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ウェハ加工操作を容易にするため、半導体ウェハに支持ウェハを一時的に接着するために使用される接着システムであって、
第1ウェハ及び第2ウェハと、
第1ウェハの表面に隣接して配置された、有機溶媒中に可溶性である剥離層と、
第2ウェハの表面に隣接して配置された、剥離層と非混和性である接着剤と、
を備え、
接着剤と剥離層が一時的に接着及び剥離することができ、
接着剤が、
ビニル官能化オリゴマー樹脂であって、ビニル官能化オリゴマー樹脂が、式:E(C1)a(C2)b(C3)cE(式中、Eはエンドキャッピング基を表し、a、b、及びcはビニル官能化オリゴマー樹脂中の各構成成分のモルパーセントを表し、aは0.025〜1.0の範囲、bは0.0〜0.95の範囲、cは0.0〜0.60の範囲である)に従う3つのシロキサン構成成分C1、C2、及びC3の少なくとも1つを含むビニル官能化オリゴマー樹脂と、
Si-H官能性オリゴマー樹脂であって、Si-H官能性オリゴマー樹脂が次式
(式中添字vは0〜1の範囲の任意の数であり、添字uは0〜2の範囲の任意の数であり、添字zは0〜1の範囲の任意の数であり、R1はフッ素で置換されていないまたは置換された1〜8個の炭素原子を有する有機基であり、R2、R3、R7、R8、R9、及びR10は、水素原子、及びフッ素で置換されていないまたは置換された1〜8個の炭素原子を有する非ビニル含有有機基から1つ独立して選択される有機基であり、R8、R9、及びR10の少なくとも1つは添字(u+v+z)の合計が0のとき水素原子を含み、重合度pは、Si-H官能性オリゴマー樹脂が接着剤において十分に機能するように所望の特性を呈するように選択されるゼロではない整数として予め定められる)によって定義されるSi-H官能性オリゴマー樹脂と、
熱活性化触媒及び光活性化触媒の群から選択されるヒドロシリル化反応を容易にすることができる触媒と、
を含む、接着システム。
IPC (8件)：
H01L 21/304 ( 200 6.01)
, C09J 183/05 ( 200 6.01)
, C09J 183/06 ( 200 6.01)
, C09J 183/08 ( 200 6.01)
, C09J 5/02 ( 200 6.01)
, C09J 11/02 ( 200 6.01)
, C09J 183/10 ( 200 6.01)
, H01L 21/683 ( 200 6.01)
H01L 21/304 622 J
, C09J 183/05
, C09J 183/06
, C09J 183/08
, C09J 5/02
, C09J 11/02
, C09J 183/10
, H01L 21/68 N
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (3件)
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