加工装置の排気ダクトアセンブリ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：松本昂 , 大上寛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-175317
公開番号（公開出願番号）：特開2014-034069
特許番号：特許第5984565号
出願日： 2012年08月07日
公開日（公表日）： 2014年02月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工液を供給しながら加工する加工手段と、該チャックテーブルと該加工手段とを囲繞する加工室と、該加工室に連通され加工屑及び廃液を含んだ該加工室内の雰囲気を排気する排気路と、該排気路の途中に配設されたファンと、該ファンと該加工室との間の該排気路に配設された排気を気体と液体とに分離する分離手段と、を有する加工装置の該排気路に該ファンの下流側で接続される排気ダクトアセンブリであって、上端が雰囲気を吸引する排気吸引源に連通し、下端に液体排出手段を有する実質上垂直に伸長する第1ダクトと、一端が加工装置の該排気路に連通し、他端が該液体排出手段より上方で該第1ダクトに連結される第2ダクトと、を備え、該第1ダクトの断面積が該第2ダクトの断面積の1.5倍以上であることを特徴とする加工装置の排気ダクトアセンブリ。

IPC (3件)：

B24B 55/06 ( 200 6.01) , H01L 21/301 ( 200 6.01) , H01L 21/304 ( 200 6.01)

FI (4件)：

B24B 55/06 , H01L 21/78 F , H01L 21/304 621 , H01L 21/304 631

引用特許：

出願人引用 (4件)

排気装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-356826 出願人：株式会社ディスコ
特開昭54-009067
ブローダウンタンク
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-278615 出願人：三菱重工業株式会社

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審査官引用 (4件)

排気装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-356826 出願人：株式会社ディスコ
特開昭54-009067
ブローダウンタンク
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-278615 出願人：三菱重工業株式会社

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