光検出器およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊東忠重 , 伊東忠彦 , 山口昭則
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-154625
公開番号（公開出願番号）：特開2014-017403
特許番号：特許第6035921号
出願日： 2012年07月10日
公開日（公表日）： 2014年01月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】支持基板と、前記支持基板上に形成される第1電極層と、前記第1電極層上に形成され、第1の波長の光を吸収する第1光吸収層と、前記第1光吸収層上に形成され、前記第1の波長の光に対して屈折率の異なる2種類の材料を交互に積層した多層反射膜を有する第2電極層と、前記第2電極層上に、前記多層反射膜の上面と接して形成され、第2の波長の光を吸収する第2光吸収層と、前記第2光吸収層上に形成される第3電極層と、を備えた光検出器。

IPC (2件)：