特許
J-GLOBAL ID:201603003350278265

交流磁場の磁気プロファイル測定装置および磁気プロファイル測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 典輝
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-536311
特許番号:特許第5975535号
出願日: 2012年09月25日
請求項(抜粋):
【請求項1】 励振したカンチレバーの先端の磁性を帯びた探針を用いて、交流磁場発生デバイスが生成した交流磁場が存在する空間を走査しつつ、前記カンチレバーの振動を検出し、当該検出結果に基づき前記交流磁場が存在する空間の磁場分布画像を生成する磁気プロファイル測定装置であって、 先端に前記探針が取り付けられた前記カンチレバーと、 前記カンチレバーを当該カンチレバーの共振周波数ないし共振周波数に近い周波数で励振する励振器と、 前記交流磁場により前記カンチレバーの励振振動を周波数変調または同時に振幅変調することで生じる前記探針の振動を検出する振動センサーと、 前記振動センサーの検出信号から、前記探針の位置の交流磁場に対応する磁気信号を復調するとともに、復調した前記磁気信号を位相が90°異なる互いに直交した2つの信号成分に分離して検出するか、復調した前記磁気信号から前記探針の位置における磁場の振幅および位相を検出する復調処理装置と、 前記探針により前記交流磁場が存在する空間を走査する走査機構と、 前記走査機構により前記交流磁場が存在する空間を走査することで得られた、当該空間の各座標における前記互いに直交した2つの信号成分または前記磁場の振幅および位相を、初期位相のまま初期データとして記憶するデータ記憶装置と、 前記データ記憶装置に記憶した、前記初期データを呼び出し、当該初期データの位相を変更したデータを複数生成する変更データ生成器と、 前記変更データ生成器により生成した前記走査領域の各座標におけるデータに基づく磁場分布画像を表示する画像表示装置と、 を備えたことを特徴とする磁気プロファイル測定装置。
IPC (1件):
G01Q 60/50 ( 201 0.01)
FI (1件):
G01Q 60/50
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 特許第4769918号
  • 磁気共鳴力顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2006-055443   出願人:日本電子株式会社, 国立大学法人京都大学, 公立大学法人横浜市立大学

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