シリカガラスルツボの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野村一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-133305
公開番号（公開出願番号）：特開2016-172691
出願日： 2016年07月05日
公開日（公表日）： 2016年09月29日
要約：

【課題】シリカガラスルツボの設計データに対する三次元形状の一致度が高い回転モールド法でのシリカガラスルツボを製造することのできるモールドを得る。【解決手段】当初の物性パラメータに基づいて得られたシミュレーションデータおよび測定データの三次元形状の一致度が所定の水準を下回っている場合には、その一致度が所定の水準以上となる改善物性パラメータを設定する。また、所定の水準を下回っている場合には、シリカガラスルツボの設計データとの一致度が所定の水準以上となるシミュレーションデータが得られる改善モールド設計データを設定する。その結果、シリカガラスルツボの設計データおよび測定データの三次元形状の一致度を所定の水準以上に高めることができる。すなわち、シリカガラスルツボの設計データに対する三次元形状の一致度がさらに高いシリカガラスルツボを回転モールド法で製造することのできるモールドが得られる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

シリカガラスルツボの製造用のモールドの製造条件の設定を支援する装置を用いたシリカガラスルツボの製造方法であって、前記装置は、任意の型式、製造ロット又はシリアルナンバーのシリカガラスルツボの三次元形状の設計データを取得するルツボ設計データ取得部と、前記ルツボ設計データに基づいてモールドの三次元形状の設計データを設定するモールド設計データ設定部と、伝熱計算、流体計算及び構造計算からなる群から選ばれる1種以上の計算が可能な計算エンジンを用いて、前記モールド設計データ通りの三次元形状のモールド上でシリカ粉末をアーク熔融して得られるシリカガラスルツボの三次元形状のシミュレーションデータを得るシミュレーション部と、前記計算エンジンが用いる物性パラメータを設定するパラメータ設定部と、前記モールド設計データに基づいて製造されるモールド上でシリカ粉末をアーク熔融して得られるシリカガラスルツボの三次元形状のルツボ測定データを取得するルツボ測定データ取得部と、前記ルツボ設計データ、前記シミュレーションデータ、前記ルツボ測定データのうち2種類のデータを比較対照して、両者の三次元形状の一致度を判定する一致度判定部と、前記シミュレーションデータ又はモールド設計データの出力部と、を備え、前記物性パラメータ設定部は、当初の物性パラメータに基づいて得られた前記シミュレーションデータおよび前記ルツボ測定データの三次元形状の一致度が所定の水準を下回っている場合には、前記一致度が所定の水準以上となる改善物性パラメータを設定する改善物性パラメータ設定部を有しており、前記モールド設計データ設定部は、前記ルツボ設計データとの一致度が所定の水準以上となるシミュレーションデータが得られる改善モールド設計データを設定する改善モールド設計データ設定部を有し、前記改善モールド設計データ設定部で設定された前記改善モールド設計データに基づいてモールドを製造することを特徴とする、シリカガラスルツボの製造方法。

IPC (3件)：

C03B 20/00 , C30B 15/10 , C30B 29/06

FI (3件)：

C03B20/00 H , C30B15/10 , C30B29/06 502B

Fターム (8件)：

4G014AH00 , 4G077AA02 , 4G077BA04 , 4G077CF10 , 4G077EG01 , 4G077EG02 , 4G077HA12 , 4G077PD01

引用特許：

出願人引用 (1件)

ルツボの計測方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-018297 出願人：三菱マテリアル株式会社, 日本高純度石英株式会社

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