収納容器、収納容器のシャッター開閉ユニット、及びこれらを用いたウエハストッカー

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：松下亮 , 水野浩司
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013060838
公開番号（公開出願番号）：WO2013-157462
出願日： 2013年04月10日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：

外部雰囲気の流入を防止し比較的少量の気体によってウエハ収納空間を所望の雰囲気に維持することが可能で、且つウエハ表面への塵埃の付着を防止することが可能なウエハストッカーを提供する。収納容器内部に配置された棚板の間隔と同じ高さ寸法を有する複数の遮蔽板からなるシャッター部を本体部に対して微少な隙間を開けて配置し、収納容器内部に清浄な気体を供給することで外部環境よりも高圧な清浄雰囲気に維持するとともに、ウエハを支持する棚板とは独立して遮蔽板を上下動させることによりシャッター部を開閉する。

請求項（抜粋）：

一方の面に開口部を有しており、内部に板状被収納物を支持可能に鉛直方向に一定の間隔で配置された複数の棚板と、前記複数の棚板の間に配置されて上下に隣接する前記棚板の間隔を維持するスペーサ部とを有する本体部と、前記本体部の前記開口部以外の側面及び上下を覆うカバー部材と、前記複数の棚板に対応して前記開口部を覆う複数の遮蔽板を有し、前記遮蔽板を前記棚板とは分離して上下動させることにより前記本体部に支持収納されている被収容物へのアクセスを可能にするシャッター部とを備え、前記本体部は内部に清浄な気体を供給するノズル部を有し、前記シャッター部は前記ノズル部から供給された前記気体を、前記本体部の内圧を維持しつつ適量外部に流出可能に前記本体部に対し微小な隙間を空けて配置されていることを特徴とする収納容器。

IPC (2件)：

H01L 21/673 , H01L 21/677

FI (2件)：

H01L21/68 T , H01L21/68 A

Fターム (68件)：

5F131AA02 , 5F131AA03 , 5F131AA32 , 5F131CA15 , 5F131CA32 , 5F131DA02 , 5F131DA32 , 5F131DA36 , 5F131DA37 , 5F131DA42 , 5F131DB02 , 5F131DB22 , 5F131DB52 , 5F131DB54 , 5F131DB58 , 5F131DB63 , 5F131DB73 , 5F131DB76 , 5F131DB82 , 5F131DB92 , 5F131DC04 , 5F131DC06 , 5F131DD03 , 5F131DD43 , 5F131DD73 , 5F131DD85 , 5F131DD86 , 5F131DD89 , 5F131FA02 , 5F131FA14 , 5F131FA17 , 5F131FA32 , 5F131FA33 , 5F131FA35 , 5F131GA14 , 5F131GA22 , 5F131GA53 , 5F131GA63 , 5F131GA76 , 5F131GA77 , 5F131GA88 , 5F131GB02 , 5F131GB12 , 5F131GB22 , 5F131GB23 , 5F131GB25 , 5F131HA04 , 5F131HA07 , 5F131HA28 , 5F131HA29 , 5F131JA04 , 5F131JA05 , 5F131JA12 , 5F131JA16 , 5F131JA25 , 5F131JA27 , 5F131JA28 , 5F131JA32 , 5F131JA34 , 5F131KA15 , 5F131KA43 , 5F131KA56 , 5F131KB05 , 5F131KB23 , 5F131KB33 , 5F131KB52 , 5F131KB56 , 5F131KB58

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