特許

J-GLOBAL ID：201603003802625006

解析装置

発明者： 五十嵐 敏
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-184357
公開番号（公開出願番号）：特開2016-057187
出願日： 2014年09月10日
公開日（公表日）： 2016年04月21日
要約：

【課題】半導体素子や液晶表示装置等の不良解析を効率的に行うことができる解析装置を提供する。【解決手段】解析装置11は、被測定試料12の内部を表すデータを取得する取得部と、前記データに基づいて、前記被測定試料の不良の位置を特定する特定部と、前記被測定試料の表面のうち、前記不良の位置に対応する位置に目印を付けるマーキング部20と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被測定試料の内部を表すデータを取得する取得部と、 前記データに基づいて、前記被測定試料の不良の位置を特定する特定部と、 前記被測定試料の表面のうち、前記不良の位置に対応する位置に目印を付けるマーキング部と、 を備えた解析装置。

IPC (4件)：

G01N 23/04 ,  G01R 31/28 ,  G01N 29/06 ,  G01N 25/72

FI (4件)：

G01N23/04 ,  G01R31/28 Z ,  G01N29/06 ,  G01N25/72 Z

Fターム (40件)：

2G001AA01 ,  2G001AA07 ,  2G001BA11 ,  2G001BA20 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001FA06 ,  2G001GA06 ,  2G001GA16 ,  2G001HA07 ,  2G001KA05 ,  2G001LA11 ,  2G040AA05 ,  2G040AB19 ,  2G040BA18 ,  2G040BA26 ,  2G040CA12 ,  2G040CA23 ,  2G040DA06 ,  2G040DA15 ,  2G040EA02 ,  2G040EA06 ,  2G040EC02 ,  2G040HA02 ,  2G040HA05 ,  2G040ZA01 ,  2G047AA05 ,  2G047BA03 ,  2G047BB06 ,  2G047BC09 ,  2G047CA01 ,  2G132AD01 ,  2G132AD18 ,  2G132AE04 ,  2G132AE14 ,  2G132AE16 ,  2G132AF11 ,  2G132AK00 ,  2G132AL09 ,  2G132AL12