特許
J-GLOBAL ID：201603003943428387
レーザダイレクト露光システム及びCAMデータの区分管理方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-038358
公開番号（公開出願番号）：特開2013-174684
特許番号：特許第5974216号
出願日： 2012年02月24日
公開日（公表日）： 2013年09月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 CAMシステムからCAM画像データを受信し、配線基板のアライメントターゲットの位置を測定することで配線基板の伸縮量を計算し、前記伸縮量を補正した描画制御画像データを作成して描画するレーザダイレクト露光システムであって、前記CAM画像データにおけるアライメントターゲットの設計位置を中心とする、伸縮補正せずに描画可能な配線基板の伸縮量の限界値を半径とする円形の領域である第1の伸縮限界円を設定し、該第1の伸縮限界円の周囲を覆う、前記限界値を半径とする円形の領域である複数の他の伸縮限界円を配置し、測定結果のアラインメントターゲットの位置座標が前記第1の伸縮限界円に含まれる場合には、前記CAM画像データの伸縮補正を行わず、前記位置座標が前記第1の伸縮限界円に含まれず且つ前記他の伸縮限界円のいずれかに含まれる場合には、該他の伸縮限界円の中心位置に、アラインメントターゲットの設計位置を合わせるように前記CAM画像データを伸縮補正した描画制御画像データを作成して描画することを特徴とするレーザダイレクト露光システム。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01)
, H05K 3/00 ( 200 6.01)
G03F 7/20 505
, H05K 3/00 H
, H05K 3/00 G
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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