特許
J-GLOBAL ID：201603003973369210
赤外線処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人アイテック国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-164355
公開番号（公開出願番号）：特開2016-040757
出願日： 2014年08月12日
公開日（公表日）： 2016年03月24日
要約：
【課題】赤外線ヒーターの監視又は制御の少なくとも一方を、より精度よく行う。【解決手段】赤外線処理装置10では、放射強度センサ60aが赤外線ヒーター30からの赤外線の第1放射強度を検出し、放射強度センサ60bが赤外線ヒーター30からの赤外線の第2放射強度を検出する。そして、検出された第1放射強度及び第2放射強度に基づいて、赤外線ヒーター30の監視及び制御を行う。コントローラー90は、検出された第1放射強度及び第2放射強度に基づいて赤外線ヒーター30の赤外線強度分布に関する分布関連情報としての温度Tを導出し、導出した温度Tに基づいて赤外線ヒーター30の監視及び制御を行う。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
処理対象に赤外線を放射して赤外線処理を行う赤外線処理装置であって、
前記赤外線処理を行う処理空間を形成する炉体と、
前記処理空間に配置され発熱体を備えた赤外線ヒーターと、
前記赤外線ヒーターからの赤外線のうち第1波長領域の放射強度である第1放射強度を検出する第1放射強度センサと、
前記赤外線ヒーターからの赤外線のうち前記第1波長領域とは異なる第2波長領域の放射強度である第2放射強度を検出する第2放射強度センサと、
前記検出された第1放射強度及び第2放射強度に基づいて、前記赤外線ヒーターの監視及び制御の少なくとも一方を行う監視制御手段と、
を備えた赤外線処理装置。
IPC (3件)：
H05B 3/00
, H05B 3/10
, H05B 3/44
H05B3/00 310C
, H05B3/10 B
, H05B3/44
3K058AA41
, 3K058CA17
, 3K058CB01
, 3K092PP20
, 3K092QA02
, 3K092QB24
, 3K092QB25
, 3K092QB62
