特許

J-GLOBAL ID：201603004014633940

上塗りフォトレジストと共に使用するためのコーティング組成物

発明者： ジェイン,ビップル ,  オンゲイ,オーウェンディ ,  コーリー,スザンヌ ,  ザンピーニ,アンソニー
出願人/特許権者： ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシー
代理人 (1件)： 特許業務法人センダ国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-000224
公開番号（公開出願番号）：特開2012-150469
特許番号：特許第5986748号
出願日： 2012年01月04日
公開日（公表日）： 2012年08月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 (a)1)1以上のパラバン酸部分並びに2)1以上のシアヌラート基および/もしくは1以上のウラシル基を含む樹脂をコーティング組成物が含む、基体上の前記コーティング組成物の層、並びに (b)前記コーティング組成物層上のフォトレジスト層、 を含むコーティングされた基体。

IPC (2件)：

G03F 7/11 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G03F 7/11 503 ,  H01L 21/30 574

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平1-134362
  
• 紫外線硬化型ソルダ-レジストインクおよびカバ-コ-トの形成法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-285487   出願人：東燃化学株式会社, 日東化学工業株式会社

審査官引用 (2件)

• 特開平1-134362
  
• 紫外線硬化型ソルダ-レジストインクおよびカバ-コ-トの形成法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-285487   出願人：東燃化学株式会社, 日東化学工業株式会社