特許
J-GLOBAL ID:201603004362404394

混合膜の製造方法、及び多孔質膜の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 佐伯 義文 ,  森 隆一郎 ,  大槻 真紀子 ,  豊山 おぎ
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-249529
公開番号(公開出願番号):特開2014-098175
特許番号:特許第5978108号
出願日: 2012年11月13日
公開日(公表日): 2014年05月29日
請求項(抜粋):
【請求項1】 互いに異なる種類の粒子αと粒子βとが混合されたエアロゾルを発生させ、前記エアロゾルにおける前記粒子β/前記粒子αの混合比を、連続的に又は段階的に変化させながら、前記エアロゾルをノズルから基材に吹き付けて、前記粒子αからなる第一部分と前記粒子βからなる第二部分とによって構成される混合膜を形成する混合膜の製造方法であって、 (前記粒子αの粒子径)/(前記粒子βの粒子径)=10/1〜1/50であり、 成膜を継続する間に連続的又は段階的に、前記エアロゾル中の前記粒子αの体積を減少させ、更に前記粒子βの体積を増加させる、或いは、前記エアロゾル中の前記粒子αの体積を増加させ、更に前記粒子βの体積を減少させることによって、前記エアロゾル中の前記粒子αと前記粒子βの合計体積を一定に保つことを特徴とする混合膜の製造方法。
IPC (1件):
C23C 24/04 ( 200 6.01)
FI (1件):
C23C 24/04
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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