特許

J-GLOBAL ID：201603004483448747

カソードルミネッセンス測定装置、エネルギー調整部材、及びカソードルミネッセンス測定方法

発明者： 田中 政幸
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-082421
公開番号（公開出願番号）：特開2016-200560
出願日： 2015年04月14日
公開日（公表日）： 2016年12月01日
要約：

【課題】試料の表面の浅い領域から放射されるカソードルミネッセンスを選択的に検出することができるカソードルミネッセンス測定装置を提供する。【解決手段】カソードルミネッセンス測定装置1は、電子線12のエネルギーを減少させるエネルギー調整部材21と、エネルギー調整部材21によって減少されたエネルギーを有する電子線12aが照射される試料30から放射されるカソードルミネッセンス39を検出する検出部41とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電子線のエネルギーを減少させるエネルギー調整部材と、 前記エネルギー調整部材によって減少されたエネルギーを有する前記電子線が照射される試料から放射されるカソードルミネッセンスを検出する検出部とを備える、カソードルミネッセンス測定装置。

IPC (5件)：

G01N 23/225 ,  G01N 21/62 ,  H01L 21/66 ,  H01J 37/252 ,  H01J 37/244

FI (6件)：

G01N23/225 314 ,  G01N21/62 A ,  G01N23/225 310 ,  H01L21/66 N ,  H01J37/252 Z ,  H01J37/244

Fターム (26件)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001BA28 ,  2G001CA03 ,  2G001CA07 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001GA01 ,  2G001GA12 ,  2G001HA13 ,  2G043AA03 ,  2G043EA01 ,  2G043EA11 ,  2G043FA02 ,  2G043GA04 ,  2G043HA15 ,  2G043LA01 ,  4M106AA01 ,  4M106AA20 ,  4M106BA02 ,  4M106CA18 ,  4M106CA20 ,  4M106CA21 ,  5C033NN10 ,  5C033RR01 ,  5C033RR10